עלעקטראָניש גאַסאַז
0102030405
טונגסטאַן העקסאַפלואָרידע ווף 6
באַשרייַבונג
טאַנגסטאַן העקסאַפלאָרידע איז אַ ינאָרגאַניק קאַמפּאַונד מיט די כעמישער פאָרמולע WF6, אַ בלאַס גאַז אין צימער טעמפּעראַטור און דרוק, און סאַליאַבאַל אין רובֿ אָרגאַניק סאָלוואַנץ.
פּראָדוקט אינהאַלט
| באַשרייַבונג | 99.999% | ||
| CF4 |
| ק | ≤5פּפּב |
| אָ2 |
| םן | ≤10פּפּב |
| N2 | ＜1ppm | שוין | ≤5פּפּב |
| CO | ＜0.5 פּפּם | Th | ≤0.1 פּפּב |
| CO2 | ＜0.5 פּפּם | פון | ≤10פּפּב |
| SiF4 | ＜0.5 פּפּם | אַז | ≤10פּפּב |
| SF6 | ＜0.5 פּפּם | אין | ≤0.05 פּפּב |
| העף | ＜ppm | זן | ≤10פּפּב |
| על | ≤10פּפּב | און | ≤10פּפּב |
| ווי | ≤10פּפּב | פּב | ≤10פּפּב |
| ב | ≤10פּפּב | פּ | ≤2פּפּב |
| אַז | ≤5פּפּב | מג | ≤10פּפּב |
| סי.די | ≤2פּפּב | אין | ≤20פּפּב |
| קר | ≤10פּפּב | מיט | ≤5פּפּב |
| פע | ≤10פּפּב | מאָ | ≤10פּפּב |
| גאַנץ ימפּיוראַטיז פון אנדערע מעטאַל | ≤500 | ||
פּעקל & שיפּינג
| פּראָדוקט | טונגסטאַן העקסאַפלואָרידע ווף 6 | ||
| פּעקל גרייס | 10 לטר צילינדער | 50 לטר צילינדער | / |
| פילונג נעץ וואָג / סיל | 15KGS | 50 קג | |
| קטי לאָודיד אין 20' קאַנטיינער | 500 סילס | 200 סילס | |
| צילינדער טאַרע וואָג | 14 קג | 55 קג | |
| וואַלוו | CGA638 | ||
טיפּיש אַפּלאַקיישאַן
טאַנגסטאַן פלאָרייד (WF6) איז די בלויז סטאַביל און ינדאַסטרילי געשאפן טאַנגסטאַן פלאָרייד פאַרשיידנקייַט. עס איז דער הויפּט געניצט ווי אַ רוי מאַטעריאַל פֿאַר טאַנגסטאַן מעטאַל כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) פּראָצעס אין די עלעקטראָניק אינדוסטריע, און די WSi2 געמאכט פון עס קענען זיין געוויינט ווי אַ וויירינג מאַטעריאַל אין גרויס-וואָג ינאַגרייטיד סערקאַץ (LSI), און קענען אויך זיין געניצט ווי אַ רוי מאַטעריאַל פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער ילעקטראָודז, פלאָרינאַטינג אגענטן, פּאַלימעראַזיישאַן קאַטאַליסץ און אָפּטיש מאַטעריאַלס. ניט-עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז פון WF6: טאַנגסטאַן קענען זיין שווער צו פּראָדוצירן טאַנגסטאַן קאַרבידע אויף די ייבערפלאַך פון שטאָל דורך CVD טעכנאָלאָגיע צו פֿאַרבעסערן די ייבערפלאַך פּראָפּערטיעס פון שטאָל, און קענען אויך זיין געניצט צו פּראָדוצירן זיכער טאַנגסטאַן קאַמפּאָונאַנץ, אַזאַ ווי טאַנגסטאַן פּייפּס און קרוסיבלע.