ניטראָגען טריפלאָרידע NF3 עלעקטראָניש גאַז
פּראָדוקט באַשרייַבונג
ניטראָגען טריפלואָרידע איז אַ ינאָרגאַניק קאַמפּאַונד, כעמישער פאָרמולע NF3, בלאַס גאַז ביי נאָרמאַל טעמפּעראַטור און דרוק, ינסאַליאַבאַל אין וואַסער, איז אַ שטאַרק אַקסאַדייזינג אַגענט, איז אַ ויסגעצייכנט פּלאַזמע עטשינג גאַז אין די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע און קענען אויך זיין געניצט ווי אַ הויך-ענערגיע. ברענוואַרג.
ספּעציפיקאַציע
ספּעציפיקאַציע | 99.99% | 99.999% |
קאַרבאָן טעטראַפלאָרידע | ≤40פּפּמוו | ≤20ppmv |
ניטראָגען | ≤10ppmv | ≤50פּפּמוו |
זויערשטאָף + אַרגאָן | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
קאַרבאָן מאַנאַקסייד | ≤1 פּמוו | ≤1 פּמוו |
קאַרבאָן דייאַקסייד | ≤3ppmv | ≤0.5 פּמוו |
ניטראָס אַקסייד | ≤3ppmv | ≤1 פּמוו |
שוועבל העקסאַפלאָרידע | ≤3ppmv | ≤2פּפּמוו |
מויסטשער | ≤1 פּמוו | ≤1 פּמוו |
עקספּרעסס ווי הף | ≤1 פּמוו | ≤1 פּמוו |
טיפּיש אַפּלאַקיישאַן
פּעקל & שיפּינג
פּראָדוקט | ניטראָגען טריפלאָרידע NF3 |
פּאַקקאַגינג גרייס | 40 לטר צילינדער |
פילונג נעץ וואָג / סיל | 20 קג |
קטי לאָודיד אין 20' קאַנטיינער | 240 סילס |
גאַנץ נעץ וואָג | 4.8 טאָנס |
צילינדער טאַרע וואָג | 52 קג |
וואַלוו | CGA330/DISS640 |