נייַעס
פארוואס סעמיקאַנדאַקטער גיאַנט יקספּאַנדז די נוצן פון הויך-ריינקייַט פלואָרינע (F2 מיקס)?
לויט SK Hynix ס 2024 סוסטאַינאַביליטי באריכט לעצטנס באפרייט, Hynix וועט פאַרבייַטן דיניטראָגען טריפלאָרידע גאַזגעניצט אין סעמיקאַנדאַקטער רייניקונג פּראַסעסאַז מיט מער ינווייראַנמענאַלי פרייַנדלעך גאַז מיט נידעריק גלאבאלע וואָרמינג פּאָטענציעל (גוופּ). עס איז געמאלדן אַז די פּראַסעסאַז נוצןהויך-ריינקייַט פלאָרין גאַז געמיש (F2 מיקס).
אין די עטשינג פּראָצעס פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע, סטראַקטשערז זענען עטשט אין די סעמיקאַנדאַקטער. דעם שריט נעמט אָרט אין אַ אַזוי גערופענע עטשער. די עטשט מאַטעריאַל אויך דיפּאַזאַץ אויף די ווענט פון די עטשינג געצייַג, אַזוי אַ באַזונדער פּראָצעס איז פארלאנגט צו ריין די געצייַג. אין רובֿ קאַסעס, עס איז קלינד מיטNF3, אבער עס זענען עטשערס אויף די מאַרק וואָס נוצן אַהויך-ריינקייַט פ2/נ2 גאַז געמיש.
די גאַז מיקסטשערז באַזייַטיקן SiO2 און Si3N4 קאַמפּאַונדז אין אַ ינווייראַנמענאַלי פרייַנדלעך שטייגער און קענען פאַרבייַטןNF3ווי אַ רייניקונג גאַז. אין דערצו, די GWP (Global Warming Potential) פון די F2/N2 געמיש איז נול קאַמפּערד מיט NF3 ס 17900. די F2/N2 גאַז געמיש קענען אויך פאַרבייַטןאנדערע רייניקונג גאַסאַז אַזאַ ווי CF4 אָדער C2F6.
SOLVAY האט דעוועלאָפּעד און פּאַטאַנטאַד פאַרשידענע פלאָרין גאַז מיקסטשערז. ווי אַן ינווייראַנמענאַלי פרייַנדלעך גאַז פֿאַר CVD רייניקונג פּראַסעסאַז, Solvaclean® ניצט פיל ווייניקער גאַז פּער ציקל און איז דעריבער מער עפעקטיוו, טראָץ אַ ענלעך רייניקונג קורס קאַמפּערד מיט אַלטערנאַטיוועס. אויב פ 2 איז באפרייט אין די סוויווע, עס מיד דיקאַמפּאָוזד אין HF. HF איז אַבזאָרבד דורך נעץ און דערנאָך געוואשן אַוועק דורך רעגן. גאָרנישט איז לינקס אין דער אַטמאָספער. Solvaclean® פּראָדוקטן האָבן אַ נול GWP (גלאבאלע וואָרמינג פּאָטענטיאַל).
עס איז געמאלדן אַז שפּאָן מאַניאַפאַקטשערערז אַזאַ ווי Hynix און Samsung זוכן צו יקספּאַנד די אַפּלאַקיישאַן פון הויך-ריינקייַט פלאָרין געמישט גאַז (F2 Mix).
אן אנדער ינקריסינגלי געניצט גאַז איזהידראָגען פלאָרייד (HF), וואָס איז געניצט אין קריאָגעניק עטשינג עקוויפּמענט. HF האט אַ GWP פון 1 אָדער ווייניקער, פיל נידעריקער ווי די פלואָראָקאַרבאָן גאַסאַז געניצט אין דער פאַרגאַנגענהייט פֿאַר NAND קאַנאַל לאָך עטשינג.די פלואָראָקאַרבאָן משפּחה גאַסאַז טשאַד טעטראַפלאָרידע (CF4)און אָקטאַפלואָראָסיקלאָבוטאַנע (C4F8) האָבן GWPs פון 6030 און 9540, ריספּעקטיוולי.
די אויבן-דערמאנט יבעררוק אין גאַז באַניץ איז אויך געריכט צו האָבן אַ פּראַל אויף די פאָרשטעלונג פון פֿאַרבונדענעעלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַז קאָמפּאַניעס.
