Elektron gazlar
Volfram geksaflorid WF6
Tavsif
Volfram geksafloridi WF6 kimyoviy formulasiga ega noorganik birikma bo'lib, xona harorati va bosimida rangsiz gaz bo'lib, ko'pchilik organik erituvchilarda eriydi.
Mahsulot tarkibi
| Spetsifikatsiya | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Allaqachon | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Of | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Bu | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Va | ≤10ppb |
| Sifatida | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
| Bu | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | In | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Bilan | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Boshqa metallarning umumiy aralashmalari | ≤500 | ||
Paket va yetkazib berish
| Mahsulot | Volfram geksaflorid WF6 | ||
| Paket hajmi | 10 litrli silindr | 50 litrli silindr | / |
| To'ldirish aniq og'irligi/sill | 15KGS | 50 kg | |
| QTY 20'konteynerga yuklangan | 500 Sil | 200 Sil | |
| Tsilindrning og'irligi | 14 kg | 55 kg | |
| Vana | CGA638 | ||
Oddiy dastur
Volfram ftorid (WF6) yagona barqaror va sanoatda ishlab chiqarilgan volfram ftorididir. U asosan elektronika sanoatida volfram metallining kimyoviy bug'larini cho'ktirish (CVD) jarayoni uchun xom ashyo sifatida ishlatiladi va undan tayyorlangan WSi2 keng miqyosli integral mikrosxemalarda (LSI) o'tkazgich materiali sifatida ishlatilishi mumkin, shuningdek, yarimo'tkazgichli elektrodlar, florlashtiruvchi moddalar, polimerizatsiya katalizatorlari va optik materiallar uchun xom ashyo sifatida ishlatiladi. WF6 ning elektron bo'lmagan ilovalari: Volfram po'latning sirt xususiyatlarini yaxshilash uchun CVD texnologiyasi bo'yicha po'lat yuzasida volfram karbidini ishlab chiqarishni qiyinlashtirishi mumkin va shuningdek, volfram quvurlari va tigellar kabi ba'zi volfram komponentlarini ishlab chiqarish uchun ishlatilishi mumkin.