Електронні гази
Гексафторид вольфраму WF6
опис
Гексафторид вольфраму — це неорганічна сполука з хімічною формулою WF6, безбарвний газ при кімнатній температурі та тиску, розчинний у більшості органічних розчинників.
Зміст продукту
| Специфікація | 99,999% | ||
| CF4 |
| К | ≤5ppb |
| O2 |
| Мн | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | вже | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | чт | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | з | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | що | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Ал | ≤10ppb | І | ≤10ppb |
| як | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| що | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | в | ≤20ppb |
| кр | ≤10ppb | с | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | пн | ≤10ppb |
| Сумарні домішки іншого металу | ≤500 | ||
Упаковка та доставка
| Продукт | Гексафторид вольфраму WF6 | ||
| Розмір упаковки | Циліндр 10л | Циліндр на 50 л | / |
| Вага нетто заповнення/цил | 15 кг | 50 кг | |
| КІЛЬКІСТЬ Завантажено в 20-футовий контейнер | 500цил | 200цил | |
| Вага циліндра | 14 кг | 55 кг | |
| Клапан | CGA638 | ||
Типове застосування
Фторид вольфраму (WF6) є єдиним стабільним і промислово виробленим різновидом фториду вольфраму. Він в основному використовується як сировина для процесу хімічного осадження металевого вольфраму (CVD) в електронній промисловості, а виготовлений з нього WSi2 може використовуватися як матеріал проводки у великих інтегральних схемах (LSI), а також може бути використовується як сировина для напівпровідникових електродів, фторуючих агентів, каталізаторів полімеризації та оптичних матеріалів. Неелектронне застосування WF6: вольфрам можна зробити жорстким для отримання карбіду вольфраму на поверхні сталі за допомогою технології CVD для покращення поверхневих властивостей сталі, а також можна використовувати для виробництва певних вольфрамових компонентів, таких як вольфрамові труби та тиглі.