Трифторид азоту NF3 електронний газ
Опис продукту
Трифторид азоту — це неорганічна сполука, хімічна формула NF3, безбарвний газ за нормальної температури та тиску, нерозчинний у воді, є сильним окислювачем, є чудовим газом для плазмового травлення в мікроелектронній промисловості, а також може використовуватися як високоенергетичний пальне.
Специфікація
Специфікація | 99,99% | 99,999% |
Чотирифтористий вуглець | ≤40 ppm об | ≤20 ppmv |
Азот | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Кисень+Аргон | ≤5 ppmv | ≤3ppmv |
Окис вуглецю | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Вуглекислий газ | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Закис азоту | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Гексафторид сірки | ≤3ppmv | ≤2 ppmv |
вологість | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Виразити як HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Типове застосування
Упаковка та доставка
Продукт | Трифторид азоту NF3 |
Розмір упаковки | Циліндр 40 л |
Вага нетто заповнення/цил | 20 кг |
КІЛЬКІСТЬ Завантажено в 20-футовий контейнер | 240 циліндрів |
Загальна вага нетто | 4,8 тонни |
Вага циліндра | 52 кг |
Клапан | CGA330/DISS640 |