ئېلېكترونلۇق گاز
0102030405
Tungsten hexafluoride WF6
چۈشەندۈرۈش
تۇڭستېن ئالتە ئوكسىدلىق خىمىيىلىك فورمۇلا WF6 بىلەن ئانئورگانىك بىرىكمە ، ئۆي تېمپېراتۇرىسى ۋە بېسىمىدىكى رەڭسىز گاز ، كۆپىنچە ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەردە ئېرىيدۇ.
مەھسۇلات مەزمۇنى
| Specification | 99.999% | ||
| CF4 |
| K. | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | ئاللىبۇرۇن | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | Of | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | ئۇ | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | .050.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | ۋە | ≤10ppb |
| دېگەندەك | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B. | ≤10ppb | P. | ≤2ppb |
| ئۇ | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | In | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | With | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo. | ≤10ppb |
| باشقا مېتاللارنىڭ ئومۇمىي بۇلغىنىشى | ≤500 | ||
ئورالما ۋە توشۇش
| مەھسۇلات | Tungsten hexafluoride WF6 | ||
| ئورالما چوڭلۇقى | 10Ltr Cylinder | 50Ltr Cylinder | / |
| ساپ ئېغىرلىقنى تولدۇرۇش / Cyl | 15KGS | 50kgs | |
| QTY 20-كونتېينېرغا يۈكلەندى | 500Cyls | 200Cyls | |
| سىلىندىر تار ئېغىرلىقى | 14kgs | 55kgs | |
| Valve | CGA638 | ||
تىپىك قوللىنىش
تۇڭستېن فتور (WF6) بىردىنبىر مۇقىم ۋە سانائەتتە ئىشلەپچىقىرىلغان تۇڭگان فتور تۈرى. ئۇ ئاساسلىقى ئېلېكترون سانائىتىدىكى تۇڭگېن مېتال خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) جەريانىدىكى خام ماتېرىيال سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، ئۇنىڭدىن ياسالغان WSi2 چوڭ تىپتىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى (LSI) دا سىم ماتېرىيالى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، شۇنداقلا بولىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئېلېكترود ، فتورلۇق دورا ، پولىمېرلاشتۇرۇش كاتالىزاتورى ۋە ئوپتىكىلىق ماتېرىياللارنىڭ خام ئەشياسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. WF6 نىڭ ئېلېكترونلۇق بولمىغان قوللىنىلىشى: تۇڭستېننى CVD تېخنىكىسى ئارقىلىق پولات يۈزىدە تۇڭگېن كاربون ھاسىل قىلىپ ، پولاتنىڭ يەر يۈزى خۇسۇسىيىتىنى يۇقىرى كۆتۈرگىلى بولىدۇ ، شۇنداقلا تۇڭگېن تۇرۇبىسى ۋە كرېستكە مىخلاش قاتارلىق بەزى تۇڭگېن زاپچاسلىرىنى ياساشقا ئىشلىتىلىدۇ.