يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گىگانت نېمىشقا يۇقىرى ساپلىقتىكى فتور (F2 ئارىلاشمىسى) نى كېڭەيتىدۇ؟

SK Hynix نىڭ يېقىندا ئېلان قىلغان 2024-يىللىق سىجىللىق دوكلاتىغا قارىغاندا ، Hynix ئۇنىڭ ئورنىنى ئالىدۇئازوت ترىفلورىد گازىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ تازىلاش جەريانىدا مۇھىت ئاسرايدىغان تۆۋەن يەر شارىنىڭ ئىسسىپ كېتىش يوشۇرۇن كۈچى (GWP) گازىغا ئىشلىتىلىدۇ. ئىگىلىنىشچە ، بۇ جەريانلار ئىشلىتىلىدۇيۇقىرى ساپلىقتىكى فتور گازى ئارىلاشمىسى (F2 Mix).

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ قىچىشىش جەريانىدا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچكە قۇرۇلمىلار ئورالغان. بۇ باسقۇچ ئاتالمىش ​​ئېفىردا ئېلىپ بېرىلىدۇ. ئورالغان ماتېرىيال يەنە قىرىش قورالىنىڭ تېمىغا قويىدۇ ، شۇڭا قورالنى تازىلاش ئۈچۈن ئايرىم جەريان تەلەپ قىلىنىدۇ. كۆپىنچە ئەھۋاللاردا ئۇ تازىلىنىدۇNF3، ئەمما بازاردا a ئىشلىتىدىغان كاۋاپچىلار باريۇقىرى ساپلىقتىكى F2 / N2 گاز ئارىلاشمىسى.

بۇ گاز ئارىلاشمىلار SiO2 ۋە Si3N4 بىرىكمىلىرىنى مۇھىت ئاسرايدىغان ئۇسۇلدا چىقىرىپ تاشلايدۇNF3تازىلاش گازى سۈپىتىدە. بۇنىڭدىن باشقا ، F2 / N2 ئارىلاشمىسىنىڭ GWP (يەرشارىنىڭ ئىللىپ كېتىش يوشۇرۇن كۈچى) NF3 نىڭ 17900 گە سېلىشتۇرغاندا نۆل. F2 / N2 گاز ئارىلاشمىسىمۇ ئالماشتۇرالايدۇ.CF4 ياكى C2F6 قاتارلىق باشقا تازىلاش گازلىرى.

SOLVAY ئوخشىمىغان فتور گازى ئارىلاشمىسىنى تەتقىق قىلىپ ياساپ چىقتى. CVD تازىلاش جەريانىدىكى مۇھىت ئاسرايدىغان گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن ، Solvaclean® ھەر بىر دەۋرىيلىك گازنى ئاز ئىشلىتىدۇ ، شۇڭلاشقا باشقا تاللاشلارغا سېلىشتۇرغاندا تازىلاش نىسبىتى ئوخشاش بولسىمۇ. ئەگەر F2 مۇھىتقا قويۇپ بېرىلسە ، ئۇ دەرھال HF غا پارچىلىنىدۇ. HF نەملىك بىلەن سۈمۈرۈلۈپ ، كېيىن يامغۇر بىلەن يۇيۇلىدۇ. ئاتموسفېرادا ھېچ نەرسە قالمىدى. Solvaclean® مەھسۇلاتلىرىنىڭ نۆل GWP (يەرشارىنىڭ ئىللىپ كېتىش يوشۇرۇن كۈچى) بار.

ئىگىلىنىشچە ، Hynix ۋە سامسۇڭ قاتارلىق ئۆزەك ئىشلەپچىقارغۇچىلار يۇقىرى ساپلىقتىكى فتور ئارىلاشما گاز (F2 Mix) نىڭ ئىشلىتىلىشىنى كېڭەيتمەكچى بولۇۋاتىدۇ.

كۈنسېرى ئىشلىتىلىۋاتقان يەنە بىر گازھىدروگېن فتور (HF)، خىروگېنلىق قىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدۇ. HF نىڭ GWP قىممىتى 1 ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەن بولۇپ ، ئىلگىرى NAND قانىلىنىڭ تۆشۈك تېشى ئۈچۈن ئىشلىتىلگەن فتور كاربون گازىدىن كۆپ تۆۋەن.فتور كاربون ئائىلىسى كاربون تېترافلورىد (CF4)ئوكتافلوئوروسىكلوبۇتان (C4F8) نىڭ GWP لىرى ئايرىم-ئايرىم ھالدا 6030 ۋە 9540.

گاز ئىشلىتىشنىڭ يۇقىرىدا تىلغا ئېلىنغان ئۆزگىرىشىمۇ مۇناسىۋەتلىك ئىقتىدارلارغا تەسىر كۆرسىتىدۇئېلېكترونلۇق ئالاھىدە تەبىئىي گاز شىركەتلىرى.