Электрон газлар
Вольфрам гексафлорид WF6
Тасвирлау
Вольфрам гексафлорид - WF6 химик формуласы белән органик булмаган кушылма, бүлмә температурасында һәм басымда төссез газ, һәм күпчелек органик эреткечләрдә эри.
Продукциянең эчтәлеге
| Спецификация | 99,999% | ||
| CF4 |
| К. | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 сәгать | Инде | ≤5ppb |
| СО | ＜0,5 сәгать | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0,5 сәгать | Ofәр сүзнең | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 сәгать | Бу | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 сәгать | ИН | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Әл | ≤10ppb | .Әм | ≤10ppb |
| Кебек | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б. | ≤10ppb | Б. | ≤2ppb |
| Бу | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | Керү | ≤20ppb |
| Кр | ≤10ppb | Белән | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | М. | ≤10ppb |
| Башка металлның пычраклыклары | ≤500 | ||
Пакет һәм җибәрү
| Продукция | Вольфрам гексафлорид WF6 | ||
| Пакет күләме | 10Лтр цилиндр | 50Лтр цилиндр | / |
| Чиста авырлыкны тутыру / ylил | 15КГС | 50кг | |
| QTY 20'Контейнерда йөкләнгән | 500Сил | 200Сил | |
| Ylилиндр авырлыгы | 14кг | 55кг | |
| Клапан | CGA638 | ||
Типик куллану
Вольфрам фторы (WF6) - бердәнбер тотрыклы һәм сәнәгатьтә җитештерелгән вольфрам фторид төре. Ул, нигездә, вольфрам металл химик пар парлау (CVD) процессы өчен чимал буларак кулланыла, һәм аннан ясалган WSi2 зур масштаблы интеграль схемаларда (LSI) чыбык материалы буларак кулланылырга мөмкин, һәм шулай ук булырга мөмкин. ярымүткәргеч электродлар, фторлы агентлар, полимеризация катализаторлары һәм оптик материаллар өчен чимал буларак кулланыла. WF6 электрон булмаган кушымталары: Вольфрам корыч өслегендә вольфрам карбидын чыгару авыр булырга мөмкин, корычның өслек үзлекләрен яхшырту өчен, вольфрам торбалары һәм крестибльләр кебек вольфрам компонентларын җитештерүдә дә кулланырга мөмкин.