Продукция
Азот Трифлорид NF3 Электрон Газ
Җитештермә тасвирламасы
Азот Трифлорид - органик булмаган кушылма, NF3 химик формуласы, нормаль температурада һәм басымда төссез газ, суда эри алмый, көчле оксидлаштыручы матдә, микроэлектроника өлкәсендә искиткеч плазмалы газ, һәм шулай ук югары энергия буларак кулланылырга мөмкин. ягулык.
Спецификация
Спецификация | 99,99% | 99,999% |
Карбон Тетрафлорид | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Азот | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Кислород + Аргон | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Углерод газы | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Карбон газы | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
Азотлы оксид | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Күкерт Гексафлорид | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Дым | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Экспресс | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Типик куллану
Ox Оксидант буларак: аны водород фторид лазерлары өчен оксидант итеп кулланырга мөмкин.
An Эшләү агенты буларак: Аны ярымүткәргечләр, сыек кристалллар һәм нечкә пленка кояш күзәнәкләре җитештерүдә эфир агенты итеп кулланырга мөмкин.
Пакет һәм җибәрү
Продукция | Азот Трифлорид NF3 |
Пакетның күләме | 40Лтр цилиндр |
Чиста авырлыкны тутыру / ylил | 20кг |
QTY 20'Контейнерда йөкләнгән | 240 цил |
Гомуми чиста авырлык | 4.8 тонна |
Ylилиндр авырлыгы | 52кг |
Клапан | CGA330 / DISS640 |