0102030405
Azot Triflorür NF3 Elektronik Gaz
Ürün Açıklaması
Azot Triflorür inorganik bir bileşiktir, kimyasal formül NF3, normal sıcaklık ve basınçta renksiz bir gazdır, suda çözünmez, güçlü bir oksitleyici maddedir, mikroelektronik endüstrisinde mükemmel bir plazma aşındırma gazıdır ve aynı zamanda yüksek enerjili olarak da kullanılabilir. yakıt.
Şartname
Şartname | %99,99 | %99,999 |
Karbon tetraflorür | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Azot | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Oksijen+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Karbonmonoksit | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Karbon dioksit | ≤3ppmv | ≤0,5ppmv |
Azot Oksit | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Sülfür hekzaflorid | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Nem | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
HF olarak ifade edin | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Sıradan uygulama
① Oksidan olarak: Hidrojen florür lazerleri için oksidan olarak kullanılabilir.
② Aşındırma maddesi olarak: Yarı iletkenlerin, sıvı kristallerin ve ince film güneş pillerinin üretiminde aşındırma maddesi olarak kullanılabilir.
Paket ve Nakliye
Ürün | Azot Triflorür NF3 |
Ambalaj Boyutu | 40Ltr Silindir |
Net Ağırlık/Silindir Dolum | 20 kg |
20'lik Konteynerde Yüklenen Adet | 240 Silindir |
Toplam Net Ağırlık | 4,8 Ton |
Silindir Dara Ağırlığı | 52kg |
Kapak | CGA330/DISS640 |