Tungsten hexafluoride WF6

Ang Tungsten fluoride (WF6) ay ang tanging matatag at industriyal na ginawang uri ng tungsten fluoride. Pangunahing ginagamit ito bilang isang hilaw na materyal para sa proseso ng tungsten metal chemical vapor deposition (CVD) sa industriya ng electronics, at ang WSi2 na ginawa mula dito ay maaaring gamitin bilang isang wiring material sa large-scale integrated circuits (LSI), at maaari ding ginamit bilang isang hilaw na materyal para sa mga semiconductor electrodes, fluorinating agent, polymerization catalysts at optical materials. Non-electronic na mga aplikasyon ng WF6: Ang Tungsten ay maaaring gawing mahirap na gumawa ng tungsten carbide sa ibabaw ng bakal sa pamamagitan ng teknolohiyang CVD upang mapabuti ang mga katangian ng ibabaw ng bakal, at maaari ding gamitin sa paggawa ng ilang partikular na bahagi ng tungsten, tulad ng mga tungsten pipe at crucibles.