Elektron gazlar
0102030405
Volfram heksafluorid WF6
Düşündiriş
Volfram heksafluorid, WF6 himiki formulasy bilen organiki däl birleşme, otag temperaturasynda we basyşda reňksiz gaz we organiki erginleriň köpüsinde ereýär.
Haryt mazmuny
| Spesifikasiýa | 99,999% | ||
| CF4 |
| K. | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Eýýäm | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | Of | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | Bu | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | We | ≤10ppb |
| Bolşy ýaly | ≤10ppb | Sah | ≤10ppb |
| B. | ≤10ppb | S. | ≤2ppb |
| Bu | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | In | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Bilen | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo. | ≤10ppb |
| Beýleki metallaryň umumy hapalary | ≤500 | ||
Bukja we eltip bermek
| Haryt | Volfram heksafluorid WF6 | ||
| Bukjanyň ululygy | 10Ltr silindr | 50Ltr silindr | / |
| Arassa agramy doldurmak / sil | 15KGS | 50kgs | |
| QTY 20'Konteýnerde ýüklendi | 500Cyls | 200Cyls | |
| Silindr agramy | 14 kg | 55 kg | |
| Klapan | CGA638 | ||
Adaty amaly
Volfram ftoridi (WF6), wolfram floridiniň ýeke-täk durnukly we senagat taýdan öndürilen görnüşidir. Esasan elektronika pudagynda wolfram metal himiki bug buglamak (CVD) prosesi üçin çig mal hökmünde ulanylýar we ondan öndürilen WSi2 uly göwrümli integral zynjyrlarda (LSI) sim materialy hökmünde ulanylyp bilner, şeýle hem bolup biler ýarymgeçiriji elektrodlar, ftorlaýjy serişdeler, polimerizasiýa katalizatorlary we optiki materiallar üçin çig mal hökmünde ulanylýar. WF6-nyň elektron däl goşundylary: Volfram poladyň üstki häsiýetlerini gowulandyrmak üçin CVD tehnologiýasy bilen poladyň üstünde wolfram karbidini öndürmek üçin kynlaşdyrylyp bilner, wolfram turbalary we çüýler ýaly wolfram komponentlerini öndürmek üçin hem ulanylyp bilner.