Ondarymgeçiriji ägirt näme üçin ýokary arassa ftor (F2 garyndysy) ulanylyşyny giňeldýär?

SK Hynix-iň ýakynda çap edilen 2024-nji ýyldaky Durnuklylyk hasabatyna görä, Hynix onuň ornuny tutarazot triflorid gazyhas ekologiýa taýdan arassa global ýylylyk potensialy (GWP) gazlary bolan ýarymgeçirijini arassalamak işlerinde ulanylýar. Bu amallaryň ulanýandygy habar berildiýokary arassa ftor gaz garyndysy (F2 Mix).

Ondarymgeçirijiniň öndürilişinde gurluşlar ýarymgeçirijä ýerleşdirilýär. Bu ädim efir diýilýän ýerde bolup geçýär. .Erine ýetirilen material, gural guralynyň diwarlaryna hem ýerleşdirilýär, şonuň üçin guraly arassalamak üçin aýratyn amal gerek. Köp halatlarda arassalanýarNF3, ýöne bazarda a ulanýan eterler barýokary arassalygy F2 / N2 gaz garyndysy.

Bu gaz garyndylary, ekologiýa taýdan arassa görnüşde SiO2 we Si3N4 birleşmelerini aýyrýar we çalşyp bilerNF3arassalaýjy gaz hökmünde. Mundan başga-da, F2 / N2 garyndysynyň GWP (Global ýylylyk potensialy) NF3 17900 bilen deňeşdirilende nola deňdir. F2 / N2 gaz garyndysy hem çalşyp bilerCF4 ýa-da C2F6 ýaly beýleki arassalaýjy gazlar.

SOLVAY dürli ftor gaz garyndylaryny döretdi we patentledi. CVD arassalamak üçin ekologiýa taýdan arassa gaz hökmünde Solvaclean® her sikl üçin has az gaz ulanýar we alternatiwalar bilen deňeşdirilende arassalaýyş derejesine garamazdan has täsirli bolýar. F2 daşky gurşawa goýberilse, derrew HF-e bölünýär. HF çyglylyk bilen siňýär we soň ýagyş bilen ýuwulýar. Atmosferada hiç zat galmady. Solvaclean® önümlerinde nol GWP bar (Global ýylylyk potensialy).

“Hynix” we “Samsung” ýaly çip öndürijileriniň ýokary arassa ftor garyndy gazynyň (F2 Mix) ulanylyşyny giňeltmäge synanyşýandyklary habar berildi.

Barha köp ulanylýan gazwodorod ftorid (HF), kriogen emele getiriji enjamlarda ulanylýar. HF-de 1 GWP bar ýa-da ondanam az, geçmişde NAND kanalynyň deşikleri üçin ulanylýan florokarbon gazlaryndan has pesdir.Ftorokarbon maşgalasy uglerod tetrafloridini gazlaýar (CF4)we oktafluorosiklobutan (C4F8) degişlilikde 6030 we 9540 GWP-lerine eýe.

Gaz ulanylyşynyň ýokarda agzalan üýtgemegi hem baglanyşykly öndürijilige täsir eder diýlip garaşylýarelektron ýöriteleşdirilen gaz kompaniýalary.