สินค้า
ไนโตรเจน ไตรฟลูออไรด์ NF3 ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์
รายละเอียดสินค้า
ไนโตรเจน ไตรฟลูออไรด์ เป็นสารประกอบอนินทรีย์ สูตรเคมี NF3 ก๊าซไม่มีสีที่อุณหภูมิและความดันปกติ ไม่ละลายในน้ำ เป็นตัวออกซิไดซ์ที่แรง เป็นก๊าซกัดกร่อนพลาสม่าที่ดีเยี่ยมในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และยังสามารถใช้เป็นพลังงานสูงได้อีกด้วย เชื้อเพลิง.
ข้อมูลจำเพาะ
ข้อมูลจำเพาะ | 99.99% | 99.999% |
คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
ไนโตรเจน | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
ออกซิเจน+อาร์กอน | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
คาร์บอนมอนอกไซด์ | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
คาร์บอนไดออกไซด์ | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
ไนตรัสออกไซด์ | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
ความชื้น | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
แสดงออกเป็น HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
การใช้งานทั่วไป
1 เป็นสารออกซิแดนท์: สามารถใช้เป็นสารออกซิแดนท์สำหรับเลเซอร์ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ได้
2 เป็นสารกัดกร่อน: สามารถใช้เป็นสารกัดกร่อนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลึกเหลว และเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง
แพ็คเกจและการจัดส่ง
ผลิตภัณฑ์ | ไนโตรเจน ไตรฟลูออไรด์ NF3 |
ขนาดบรรจุภัณฑ์ | กระบอกสูบ 40 ลิตร |
บรรจุน้ำหนักสุทธิ/ถัง | 20กก |
จำนวนโหลดในคอนเทนเนอร์ 20' | 240 สูบ |
น้ำหนักสุทธิรวม | 4.8 ตัน |
น้ำหนักเมื่อทดค่ากระบอกสูบ | 52กก |
วาล์ว | CGA330/DIS640 |