คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ CF4 R14 แก๊สอิเล็กทรอนิกส์
รายละเอียดสินค้า
คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์หรือที่เรียกว่าเตตระฟลูออโรมีเทน มีสูตรทางเคมี CF4 ถือได้ว่าเป็นไฮโดรคาร์บอนฮาโลเจน (สารอินทรีย์) หรือสารประกอบอนินทรีย์ เป็นก๊าซไม่มีสีที่อุณหภูมิและความดันปกติ และไม่ละลายน้ำ ในน้ำที่ละลายได้ในเบนซีนและคลอโรฟอร์ม ส่วนใหญ่จะใช้ในกระบวนการกัดพลาสม่าของวงจรรวมต่างๆ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารหล่อเย็นสำหรับแก๊สเลเซอร์ สารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ ตัวทำละลาย สารหล่อลื่น วัสดุฉนวน และท่อตรวจจับอินฟราเรด
ข้อมูลจำเพาะ
ข้อมูลจำเพาะ | 99.999% |
ออกซิเจน+อาร์กอน | ≤1ppm |
ไนโตรเจน | ≤4 ppm |
ความชื้น(น้ำ2O) | ≤3ส่วนต่อนาที |
เอชเอฟ | ≤0.1 ppm |
บจก | ≤0.1 ppm |
คาร์บอนไดออกไซด์ | ≤1ส่วนต่อนาที |
เอสเอฟ6 | ≤1ส่วนต่อนาที |
ฮาโลคาร์ไบน์ | ≤1ส่วนต่อนาที |
สิ่งเจือปนทั้งหมด | ≤10 ppm |
การใช้งานทั่วไป
แพ็คเกจและการจัดส่ง
ผลิตภัณฑ์ | คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ CF4 | ||
ขนาดบรรจุภัณฑ์ | กระบอกสูบ 40 ลิตร | กระบอกสูบ 50 ลิตร |
|
บรรจุน้ำหนักสุทธิ/ถัง | 30กก | 38กก |
|
จำนวนโหลดในคอนเทนเนอร์ 20' | 250 สูบ | 250 สูบ | |
น้ำหนักสุทธิรวม | 7.5 ตัน | 9.5 ตัน | |
น้ำหนักเมื่อทดค่ากระบอกสูบ | 50กก | 55กก | |
วาล์ว | ซีจีเอ 580 |