Газҳои электронӣ
Вольфрам гексафториди WF6
Тавсифи
Гексафториди волфрам як пайвастагии ғайриорганикӣ бо формулаи кимиёвии WF6 аст, гази ранга дар ҳарорати хонагӣ ва фишор ва дар аксари ҳалкунандаҳои органикӣ ҳал мешавад.
Мазмуни маҳсулот
| Мушаххасоти | 99.999% | ||
| CF4 |
| К | ≤5ppb |
| О2 |
| Мн | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 саҳ | Аллакай | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | Ч | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | Аз | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | ки | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | ДАР | ≤0,05ppb |
| HF | ＜саҳм | Зн | ≤10ppb |
| Ал | ≤10ppb | Ва | ≤10ppb |
| Чун | ≤10ppb | Пб | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| ки | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | Дар | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Бо | ≤5ppb |
| Фе | ≤10ppb | Мо | ≤10ppb |
| Маҷмӯи ифлосиҳои металлҳои дигар | ≤500 | ||
Баста ва интиқол
| Маҳсулот | Вольфрам гексафториди WF6 | ||
| Андозаи баста | Силиндр 10л | Силиндр 50л | / |
| Пур кардани Вазни холис/Цил | 15КГС | 50кг | |
| Миқдори бор дар 20'контейнер | 500Сил | 200Сил | |
| Вазни танаи силиндр | 14кг | 55кг | |
| Клапан | CGA638 | ||
Аризаи маъмулӣ
Фториди волфрам (WF6) ягона навъи фториди вольфрами устувор ва дар саноат истеҳсолшуда мебошад. Он асосан ҳамчун ашёи хом барои коркарди буғи химиявии металлҳои волфрам (CVD) дар саноати электроника истифода мешавад ва WSi2 аз он метавонад ҳамчун маводи ноқил дар микросхемаҳои интегралӣ (LSI) истифода шавад ва инчунин метавонад хамчун ашьёи хоми электродхои нимнокил, агентхои фтордор, катализаторхои полимеризация ва материалхои оптикй истифода мешаванд. Барномаҳои ғайриэлектронии WF6: Вольфрамро метавон барои истеҳсоли карбиди волфрам дар рӯи пӯлод бо технологияи CVD барои беҳтар кардани хосиятҳои рӯизаминии пӯлод душвор созад ва инчунин метавонад барои истеҳсоли баъзе ҷузъҳои вольфрам, ба монанди қубурҳои волфрам ва тигел истифода шавад.