Нитроген трифториди NF3 гази электронӣ
Тавсифи Маҳсулот
Нитроген трифториди як пайвастагии ғайриорганикӣ, формулаи химиявии NF3, гази ранга дар ҳарорат ва фишори муқаррарӣ, дар об ҳалнашаванда, агенти оксидкунандаи қавӣ аст, як гази аълои плазма дар саноати микроэлектроника мебошад ва инчунин метавонад ҳамчун энергияи баланд истифода шавад. сӯзишворӣ.
Мушаххасот
Мушаххасот | 99,99% | 99.999% |
Тетрафториди карбон | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Нитроген | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Оксиген + Аргон | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Оксиди карбон | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Ду оксиди карбон | ≤3ppmv | ≤0,5ppmv |
Оксиди нитро | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Гексафториди сулфур | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Рутубат | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Ҳамчун HF ифода кунед | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Аризаи маъмулӣ
Баста ва интиқол
Маҳсулот | Нитроген трифториди NF3 |
Андозаи бастабандӣ | Силиндр 40л |
Пур кардани Вазни холис/Цил | 20кг |
Миқдори бор дар 20'контейнер | 240 сил |
Вазни умумии холис | 4,8 тонна |
Вазни зарфи силиндр | 52 кг |
Клапан | CGA330/DISS640 |