டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு WF6

டங்ஸ்டன் புளோரைடு (WF6) மட்டுமே நிலையான மற்றும் தொழில்துறையில் உற்பத்தி செய்யப்படும் டங்ஸ்டன் புளோரைடு வகையாகும். எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் டங்ஸ்டன் உலோக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைக்கான மூலப்பொருளாக இது முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இதிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் WSi2 பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் (LSI) வயரிங் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படலாம். குறைக்கடத்தி மின்முனைகள், புளோரினேட்டிங் முகவர்கள், பாலிமரைசேஷன் வினையூக்கிகள் மற்றும் ஆப்டிகல் பொருட்களுக்கான மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. WF6 இன் எலக்ட்ரானிக் அல்லாத பயன்பாடுகள்: எஃகின் மேற்பரப்பு பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்கு CVD தொழில்நுட்பம் மூலம் எஃகு மேற்பரப்பில் டங்ஸ்டன் கார்பைடை உற்பத்தி செய்வதற்கு டங்ஸ்டனை கடினமாக்கலாம், மேலும் டங்ஸ்டன் குழாய்கள் மற்றும் சிலுவைகள் போன்ற சில டங்ஸ்டன் கூறுகளை தயாரிக்கவும் பயன்படுத்தலாம்