Swahili
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
Leave Your Message
*Name Cannot be empty!
* Enter product details such as size, color,materials etc. and other specific requirements to receive an accurate quote. Cannot be empty
Kwa nini Jitu la Semiconductor Hupanua Matumizi ya Fluorini ya Usafi wa Juu (Mchanganyiko wa F2)?

Habari

Jamii za Habari
Habari Zilizoangaziwa
Wanasayansi wa China hutumia teknolojia ya kielektroniki ya nje ya tovuti kufikia mtengano kamili wa sulfidi hidrojeni

Wanasayansi wa China hutumia teknolojia ya kielektroniki ya nje ya tovuti kufikia mtengano kamili wa sulfidi hidrojeni
Vidokezo kuhusu usimamizi wa usalama wa mitungi ya gesi

Vidokezo kuhusu usimamizi wa usalama wa mitungi ya gesi
Jukumu muhimu la Heliamu katika mabadiliko ya kijani kibichi

Jukumu muhimu la Heliamu katika mabadiliko ya kijani kibichi
Jinsi ya kukabiliana na sumu ya sulfidi hidrojeni?

Jinsi ya kukabiliana na sumu ya sulfidi hidrojeni?
Teknolojia ya moto ya sifuri-kaboni - kukata hidrojeni ya Hycut

Teknolojia ya moto ya sifuri-kaboni - kukata hidrojeni ya Hycut
EFC inatangaza gesi maalum ya kielektroniki ya dola bilioni 1.5 na mradi wa uzalishaji wa vifaa vya hali ya juu

EFC inatangaza gesi maalum ya kielektroniki ya dola bilioni 1.5 na mradi wa uzalishaji wa vifaa vya hali ya juu
Je! Unajua kiasi gani kuhusu sumu ya kaboni monoksidi?

Je! Unajua kiasi gani kuhusu sumu ya kaboni monoksidi?
Kampuni kubwa zaidi ya gesi ya kielektroniki ya Korea Kusini inauzwa!

Kampuni kubwa zaidi ya gesi ya kielektroniki ya Korea Kusini inauzwa!
Jenereta ya Kwanza ya Kioevu ya Nitrojeni ya Korea Ilitengenezwa kwa Mafanikio

Jenereta ya Kwanza ya Kioevu ya Nitrojeni ya Korea Ilitengenezwa kwa Mafanikio
Je, Sulfur Hexafluoride ni sumu?

Je, Sulfur Hexafluoride ni sumu?

Kwa nini Jitu la Semiconductor Hupanua Matumizi ya Fluorini ya Usafi wa Juu (Mchanganyiko wa F2)?

2024-08-08

Kulingana na Ripoti ya Uendelevu ya SK Hynix ya 2024 iliyotolewa hivi karibuni, Hynix itachukua nafasi yagesi ya trifluoride ya nitrojenihutumika katika michakato ya kusafisha semiconductor na gesi zenye uwezo wa chini wa joto duniani (GWP) rafiki wa mazingira. Inaripotiwa kuwa michakato hii hutumiamchanganyiko wa gesi ya florini safi kabisa (Mchanganyiko wa F2).

Katika mchakato wa etching ya uzalishaji wa semiconductor, miundo ni etched katika semiconductor. Hatua hii inafanyika katika kinachojulikana kama etcher. Nyenzo zilizowekwa pia huweka kwenye kuta za chombo cha etching, hivyo mchakato tofauti unahitajika kusafisha chombo. Katika hali nyingi, husafishwa naNF3, lakini kuna wachuuzi kwenye soko wanaotumia amchanganyiko wa gesi ya F2/N2 yenye usafi wa juu.

Mchanganyiko huu wa gesi huondoa misombo ya SiO2 na Si3N4 kwa njia ya kirafiki na inaweza kuchukua nafasiNF3kama gesi ya kusafisha. Kwa kuongeza, GWP (Uwezo wa Joto Ulimwenguni) wa mchanganyiko wa F2/N2 ni sifuri ikilinganishwa na NF3 ya 17900. Mchanganyiko wa gesi ya F2/N2 pia unaweza kuchukua nafasi.gesi zingine za kusafisha kama vile CF4 au C2F6.

SOLVAY imetengeneza na kuweka hati miliki michanganyiko tofauti ya gesi ya florini. Kama gesi rafiki kwa mazingira kwa michakato ya kusafisha CVD, Solvaclean® hutumia gesi kidogo sana kwa kila mzunguko na kwa hivyo inafaa zaidi, licha ya kuwa na kiwango sawa cha kusafisha ikilinganishwa na mbadala. Ikiwa F2 inatolewa kwenye mazingira, mara moja hutengana katika HF. HF hufyonzwa na unyevu na hatimaye kusombwa na mvua. Hakuna kitu kinachoachwa katika anga. Bidhaa za Solvaclean® zina GWP sifuri (Uwezo wa Kuongeza Joto Ulimwenguni).

Inaripotiwa kuwa watengenezaji wa chip kama vile Hynix na Samsung wanatafuta kupanua utumizi wa gesi iliyochanganyika ya florini ya hali ya juu (F2 Mix).

Gesi nyingine inayozidi kutumika nifloridi hidrojeni (HF), ambayo hutumiwa katika vifaa vya cryogenic etching. HF ina GWP ya 1 au chini, chini sana kuliko gesi za fluorocarbon zilizotumiwa hapo awali kwa uwekaji wa shimo la kituo cha NAND.Gesi za familia ya fluorocarbon carbon tetrafluoride (CF4)na octafluorocyclobutane (C4F8) wana GWP za 6030 na 9540, mtawalia.

Mabadiliko yaliyotajwa hapo juu katika matumizi ya gesi pia yanatarajiwa kuwa na athari katika utendaji wa kuhusianamakampuni maalum ya gesi ya elektroniki.

2.png