Elektroniska gaser
Volframhexafluorid WF6
Beskrivning
Volframhexafluorid är en oorganisk förening med den kemiska formeln WF6, en färglös gas vid rumstemperatur och tryck, och löslig i de flesta organiska lösningsmedel.
Produktinnehåll
| Specifikation | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Redan | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Av | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Att | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | I | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Och | ≤10 ppb |
| Som | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2ppb |
| Att | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤2ppb | I | ≤20 ppb |
| Cr | ≤10 ppb | Med | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Totala föroreningar av annan metall | ≤500 | ||
Paket & Frakt
| Produkt | Volframhexafluorid WF6 | ||
| Paketstorlek | 10 liters cylinder | 50 liters cylinder | / |
| Fyllning Nettovikt/Cyl | 15 kg | 50 kg | |
| QTY Laddas i 20'-behållare | 500 Cyls | 200Cyls | |
| Cylinder egenvikt | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Typisk tillämpning
Volframfluorid (WF6) är den enda stabila och industriellt producerade volframfluoridsorten. Det används huvudsakligen som råmaterial för processer för volframmetall kemisk ångavsättning (CVD) inom elektronikindustrin, och WSi2 tillverkad av det kan användas som ledningsmaterial i storskaliga integrerade kretsar (LSI) och kan också användas används som råmaterial för halvledarelektroder, fluoreringsmedel, polymerisationskatalysatorer och optiska material. Icke-elektroniska tillämpningar av WF6: Volfram kan göras svårt att producera volframkarbid på ytan av stål med CVD-teknik för att förbättra stålets ytegenskaper, och kan också användas för att tillverka vissa volframkomponenter, såsom volframrör och deglar.