gas éléktronik
Tungsten hexafluoride WF6
Katerangan
Tungsten héksafluorida nyaéta sanyawa anorganik kalayan rumus kimia WF6, gas teu warnaan dina suhu sareng tekanan kamar, sareng leyur dina kalolobaan pangleyur organik.
Kandungan Produk
| Spésifikasi | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Bungbulang | ≤10ppb |
| N2 | 1 ppm | Geus | ≤5ppb |
| CO | 0,5 ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | 0,5 ppm | Tina | ≤10ppb |
| SiF4 | 0,5 ppm | Éta | ≤10ppb |
| SF6 | 0,5 ppm | DI | ≤0.05ppb |
| HF | ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Jeung | ≤10ppb |
| Salaku | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
| Éta | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | Di | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Jeung | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Total pangotor logam lianna | ≤500 | ||
Paket & Pangiriman
| produk | Tungsten hexafluoride WF6 | ||
| Ukuran Paket | Silinder 10 Ltr | Silinder 50 Ltr | / |
| Ngeusian Beurat Net / Cyl | 15KGS | 50 kg | |
| QTY Dimuat dina 20'Wadahna | 500Cyl | 200Cyl | |
| Silinder Tare Beurat | 14 kg | 55 kg | |
| Klep | CGA638 | ||
Aplikasi Biasa
Tungsten fluorida (WF6) mangrupakeun hiji-hijina variétas tungsten fluorida stabil sarta dihasilkeun industri. Ieu utamana dipaké salaku bahan baku pikeun prosés déposisi uap kimia logam tungsten (CVD) dina industri éléktronika, sarta WSi2 dijieunna tina eta bisa dipaké salaku bahan wiring dina skala badag sirkuit terpadu (LSI), sarta ogé bisa jadi. dipaké salaku bahan baku pikeun éléktroda semikonduktor, agén fluorinating, katalis polimérisasi jeung bahan optik. Aplikasi non-éléktronik WF6: Tungsten bisa dijieun teuas pikeun ngahasilkeun tungsten carbide dina beungeut baja ku téhnologi CVD pikeun ngaronjatkeun sipat beungeut baja, sarta ogé bisa dipaké pikeun rancang komponén tungsten tangtu, kayaning pipa tungsten na crucibles.