Електронски гасови
Волфрам хексафлуорид ВФ6
Опис
Волфрам хексафлуорид је неорганско једињење са хемијском формулом ВФ6, безбојни гас на собној температури и притиску и растворљив у већини органских растварача.
Садржај производа
| Спецификација | 99,999% | ||
| ЦФ4 |
| К | ≤5ппб |
| О2 |
| Мн | ≤10ппб |
| Н2 | ＜1ппм | Већ | ≤5ппб |
| ЦО | ＜0.5ппм | Тх | ≤0.1ппб |
| ЦО2 | ＜0.5ппм | Оф | ≤10ппб |
| СиФ4 | ＜0.5ппм | То | ≤10ппб |
| СФ6 | ＜0.5ппм | ИН | ≤0.05ппб |
| ХФ | ＜ппм | Зн | ≤10ппб |
| Ал | ≤10ппб | И | ≤10ппб |
| Ас | ≤10ппб | Пб | ≤10ппб |
| Б | ≤10ппб | П | ≤2ппб |
| То | ≤5ппб | Мг | ≤10ппб |
| Цд | ≤2ппб | Ин | ≤20ппб |
| Цр | ≤10ппб | Витх | ≤5ппб |
| Фе | ≤10ппб | Мо | ≤10ппб |
| Укупне нечистоће других метала | ≤500 | ||
Пакет и достава
| Производ | Волфрам хексафлуорид ВФ6 | ||
| Величина пакета | 10Лтр Цилиндер | 50Лтр Цилиндер | / |
| Нето тежина пуњења/Цил | 15КГС | 50кгс | |
| КОЛ. Утоварено у контејнер од 20' | 500Цилс | 200Цилс | |
| Тежина таре цилиндра | 14кгс | 55кгс | |
| Вентил | ЦГА638 | ||
Типична примена
Волфрам флуорид (ВФ6) је једина стабилна и индустријски произведена врста волфрам флуорида. Углавном се користи као сировина за процес хемијског таложења метала волфрама (ЦВД) у електронској индустрији, а ВСи2 направљен од њега може се користити као материјал за ожичење у великим интегрисаним колима (ЛСИ), а такође се може користити користи се као сировина за полупроводничке електроде, средства за флуорисање, катализаторе полимеризације и оптичке материјале. Неелектронске примене ВФ6: Волфрам се може учинити тешким за производњу волфрамовог карбида на површини челика ЦВД технологијом како би се побољшале површинске особине челика, а такође се може користити за производњу одређених волфрамових компоненти, као што су волфрамове цеви и лончићи.