Зашто Семицондуцтор Гиант проширује употребу флуора високе чистоће (Ф2 мешавина)?

Према недавно објављеном Извештају о одрживости СК Хиник-а за 2024., Хиник ће заменитигас азот трифлуоридкористи се у процесима чишћења полупроводника са еколошки прихватљивијим гасовима са ниским потенцијалом глобалног загревања (ГВП). Пријављено је да ови процеси користегасовита мешавина флуора високе чистоће (Ф2 мешавина).

У процесу јеткања производње полупроводника, структуре се урезују у полупроводник. Овај корак се одвија у тзв. Угравирани материјал се такође таложи на зидовима алата за гравирање, тако да је за чишћење алата потребан посебан процес. У већини случајева се чисти соНФ3, али на тржишту постоје графичари који користе агасна мешавина Ф2/Н2 високе чистоће.

Ове гасне мешавине уклањају једињења СиО2 и Си3Н4 на еколошки прихватљив начин и могу их заменитиНФ3као гас за чишћење. Поред тога, ГВП (потенцијал глобалног загревања) мешавине Ф2/Н2 је нула у поређењу са НФ3-овим 17900. Мешавина гаса Ф2/Н2 такође може заменитидруги гасови за чишћење као што су ЦФ4 или Ц2Ф6.

СОЛВАИ је развио и патентирао различите мешавине гасова флуора. Као еколошки прихватљив гас за ЦВД процесе чишћења, Солвацлеан® користи много мање гаса по циклусу и стога је ефикаснији, упркос томе што има сличну брзину чишћења у поређењу са алтернативама. Ако се Ф2 испусти у околину, он се одмах разлаже у ХФ. ХФ се апсорбује влагом и затим испире кишом. Ништа није остало у атмосфери. Солвацлеан® производи имају нула ГВП (потенцијал глобалног загревања).

Извештава се да произвођачи чипова као што су Хиник и Самсунг настоје да прошире примену мешаног гаса са флуором високе чистоће (Ф2 Мик).

Још један гас који се све чешће користи јефлуороводоник (ХФ), који се користи у опреми за криогено јеткање. ХФ има ГВП од 1 или мање, много ниже од гасова флуороугљеника који су се раније користили за нагризање рупа НАНД канала.Гасови из породице флуороугљеника угљен-тетрафлуорид (ЦФ4)и октафлуороциклобутан (Ц4Ф8) имају ГВП од 6030 и 9540, респективно.

Очекује се да ће горе поменута промена у коришћењу гаса утицати на перформансе повезанихелектронске специјалне гасне компаније.