Elektronski plini
0102030405
Volframov heksafluorid WF6
Opis
Volframov heksafluorid je anorganska spojina s kemijsko formulo WF6, brezbarven plin pri sobni temperaturi in tlaku ter topen v večini organskih topil.
Vsebina izdelka
| Specifikacija | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1ppm | že | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | od | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | to | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | in | ≤10 ppb |
| Kot | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | p | ≤2ppb |
| to | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤2ppb | noter | ≤20 ppb |
| Kr | ≤10 ppb | z | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Skupne nečistoče drugih kovin | ≤500 | ||
Paket in pošiljanje
| Izdelek | Volframov heksafluorid WF6 | ||
| Velikost paketa | 10Ltr jeklenka | 50Ltr jeklenka | / |
| Neto teža polnjenja/cil | 15 KGS | 50 kg | |
| KOLIČINA Naloženo v 20'kontejner | 500 Cyls | 200 Cyls | |
| Tara cilindra | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Tipična uporaba
Volframov fluorid (WF6) je edina stabilna in industrijsko proizvedena različica volframovega fluorida. Uporablja se predvsem kot surovina za postopek kemičnega naparjevanja volframove kovine (CVD) v elektronski industriji, WSi2, izdelan iz njega, pa se lahko uporablja kot material za ožičenje v velikih integriranih vezjih (LSI) in je lahko tudi uporablja se kot surovina za polprevodniške elektrode, sredstva za fluoriranje, polimerizacijske katalizatorje in optične materiale. Neelektronske uporabe WF6: Volfram je mogoče otežiti za proizvodnjo volframovega karbida na površini jekla s tehnologijo CVD za izboljšanje površinskih lastnosti jekla, prav tako pa se lahko uporablja za izdelavo določenih volframovih komponent, kot so volframove cevi in lončki.