Elektronické plyny
Hexafluorid volfrámový WF6
Popis
Hexafluorid volfrámu je anorganická zlúčenina s chemickým vzorcom WF6, bezfarebný plyn pri izbovej teplote a tlaku a rozpustný vo väčšine organických rozpúšťadiel.
Obsah produktu
| Špecifikácia | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤ 5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤ 10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Už | ≤ 5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤ 0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | z | ≤ 10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | To | ≤ 10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤ 0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤ 10 ppb |
| Al | ≤ 10 ppb | A | ≤ 10 ppb |
| Ako | ≤ 10 ppb | Pb | ≤ 10 ppb |
| B | ≤ 10 ppb | P | ≤ 2 ppb |
| To | ≤ 5 ppb | Mg | ≤ 10 ppb |
| Cd | ≤ 2 ppb | In | ≤ 20 ppb |
| Cr | ≤ 10 ppb | s | ≤ 5 ppb |
| Fe | ≤ 10 ppb | Mo | ≤ 10 ppb |
| Celkové nečistoty z iných kovov | ≤ 500 | ||
Balenie a doprava
| Produkt | Hexafluorid volfrámový WF6 | ||
| Veľkosť balenia | 10 litrový valec | 50 litrový valec | / |
| Čistá hmotnosť náplne/valc | 15 kg | 50 kg | |
| MNOŽSTVO Naložené v 20' kontajneri | 500 valcov | 200 valcov | |
| Vlastná hmotnosť valca | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Typická aplikácia
Fluorid volfrámový (WF6) je jedinou stabilnou a priemyselne vyrábanou odrodou fluoridu volfrámového. Používa sa hlavne ako surovina pre proces chemickej depozície volfrámových kovových pár (CVD) v elektronickom priemysle a WSi2 z neho vyrobený sa môže použiť ako elektroinštalačný materiál vo veľkých integrovaných obvodoch (LSI) a môže byť používa sa ako surovina pre polovodičové elektródy, fluoračné činidlá, polymerizačné katalyzátory a optické materiály. Neelektronické aplikácie WF6: Volfrám môže byť sťažený na výrobu karbidu volfrámu na povrchu ocele pomocou technológie CVD na zlepšenie povrchových vlastností ocele a môže sa použiť aj na výrobu určitých volfrámových komponentov, ako sú volfrámové rúry a tégliky.