Fluorid dusíka NF3 elektronický plyn
Popis produktu
Fluorid dusnatý je anorganická zlúčenina, chemický vzorec NF3, bezfarebný plyn pri normálnej teplote a tlaku, nerozpustný vo vode, je silným oxidačným činidlom, je vynikajúcim plynom na leptanie plazmou v mikroelektronickom priemysle a môže sa použiť aj ako vysokoenergetický plyn palivo.
Špecifikácia
Špecifikácia | 99,99 % | 99,999 % |
Tetrafluorid uhličitý | ≤40 ppmv | ≤ 20 ppmv |
Dusík | ≤ 10 ppmv | ≤ 50 ppmv |
Kyslík + argón | ≤5 ppmv | ≤ 3 ppmv |
Oxid uhoľnatý | ≤ 1 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Oxid uhličitý | ≤ 3 ppmv | ≤ 0,5 ppmv |
Oxid dusný | ≤ 3 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Hexafluorid sírový | ≤ 3 ppmv | ≤ 2 ppmv |
Vlhkosť | ≤ 1 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Vyjadrite ako HF | ≤ 1 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Typická aplikácia
Balenie a doprava
Produkt | Fluorid dusnatý NF3 |
Veľkosť balenia | 40 litrový valec |
Čistá hmotnosť náplne/valc | 20 kg |
MNOŽSTVO Naložené v 20' kontajneri | 240 cyklov |
Celková čistá hmotnosť | 4,8 tony |
Vlastná hmotnosť valca | 52 kg |
Ventil | CGA330/DISS640 |