Produkty
Tetrafluorid uhlíka CF4 R14 elektronický plyn
Popis produktu
Fluorid uhličitý, tiež známy ako tetrafluórmetán, má chemický vzorec CF4. Môže sa považovať buď za halogénovaný uhľovodík (organická látka) alebo za anorganickú zlúčeninu. Pri normálnej teplote a tlaku je to bezfarebný plyn a je nerozpustný. Vo vode, rozpustný v benzéne a chloroforme, sa používa hlavne v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov. Používa sa tiež ako chladivo pre laserový plyn, nízkoteplotné chladivo, rozpúšťadlo, mazivo, izolačný materiál a trubicu infračerveného detektora.
Špecifikácia
Špecifikácia | 99,999 % |
Kyslík + argón | ≤ 1 ppm |
Dusík | ≤ 4 ppm |
Vlhkosť (H2O) | ≤ 3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤ 1 ppm |
SF6 | ≤ 1 ppm |
Halokarbyny | ≤ 1 ppm |
Celkové nečistoty | ≤ 10 ppm |
Typická aplikácia
Balenie a doprava
Produkt | Tetrafluorid uhličitý CF4 | ||
veľkosť balíka | 40 litrový valec | 50 litrový valec |
|
Čistá hmotnosť náplne/valc | 30 kg | 38 kg |
|
MNOŽSTVO Naložené v 20' kontajneri | 250 cyklov | 250 cyklov | |
Celková čistá hmotnosť | 7,5 tony | 9,5 tony | |
Vlastná hmotnosť valca | 50 kg | 55 kg | |
Ventil | CGA 580 | ||