ඉලෙක්ට්රොනික වායු
0102030405
ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් WF6
විස්තරය
ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් යනු WF6 රසායනික සූත්‍රය සහිත අකාබනික සංයෝගයකි, කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ පීඩනයේ අවර්ණ වායුවක් වන අතර බොහෝ කාබනික ද්‍රාවකවල ද්‍රාව්‍ය වේ.
නිෂ්පාදන අන්තර්ගතය
| පිරිවිතර | 99.999% | ||
| CF4 |
| කේ | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ජී1ppm | දැනටමත් | ≤5ppb |
| CO | ජී0.5ppm | ත | ≤0.1ppb |
| CO2 | ජී0.5ppm | ඔෆ් | ≤10ppb |
| SiF4 | ජී0.5ppm | ඒ | ≤10ppb |
| SF6 | ජී0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| එච්.එෆ් | ජීppm | Zn | ≤10ppb |
| අල් | ≤10ppb | සහ | ≤10ppb |
| ලෙස | ≤10ppb | පීබී | ≤10ppb |
| බී | ≤10ppb | පී | ≤2ppb |
| ඒ | ≤5ppb | එම්.ජී | ≤10ppb |
| සීඩී | ≤2ppb | තුළ | ≤20ppb |
| ක්රි | ≤10ppb | සමඟ | ≤5ppb |
| පෙ | ≤10ppb | මෝ | ≤10ppb |
| අනෙකුත් ලෝහවල සම්පූර්ණ අපද්රව්ය | ≤500 | ||
පැකේජය සහ නැව්ගත කිරීම
| නිෂ්පාදනය | ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් WF6 | ||
| පැකේජ ප්රමාණය | 10Ltr සිලින්ඩරය | 50Ltr සිලින්ඩරය | / |
| ශුද්ධ බර / Cyl පිරවීම | 15KGS | 50kgs | |
| QTY 20'කන්ටේනරයේ පටවා ඇත | 500 Cyls | සයිල්ස් 200 | |
| සිලින්ඩර් ටේරේ බර | 14kg | 55kg | |
| කපාටය | CGA638 | ||
සාමාන්ය යෙදුම
ටංස්ටන් ෆ්ලෝරයිඩ් (WF6) යනු එකම ස්ථායී සහ කාර්මිකව නිපදවන ටංස්ටන් ෆ්ලෝරයිඩ් ප්‍රභේදයයි. එය ප්‍රධාන වශයෙන් ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ ටංස්ටන් ලෝහ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) ක්‍රියාවලිය සඳහා අමුද්‍රව්‍යයක් ලෙස භාවිතා කරන අතර එයින් සාදන ලද WSi2 මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථවල (LSI) රැහැන් ද්‍රව්‍යයක් ලෙස භාවිතා කළ හැකිය. අර්ධ සන්නායක ඉලෙක්ට්රෝඩ, ෆ්ලෝරිනීකරණ කාරක, බහුඅවයවීකරණ උත්ප්රේරක සහ දෘශ්ය ද්රව්ය සඳහා අමුද්රව්ය ලෙස භාවිතා වේ. WF6 හි ඉලෙක්ට්රොනික නොවන යෙදුම්: වානේ මතුපිට ගුණ වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා CVD තාක්‍ෂණය මගින් වානේ මතුපිට ටංස්ටන් කාබයිඩ් නිපදවීමට ටංස්ටන් අමාරු කළ හැකි අතර, ටංස්ටන් පයිප්ප සහ කෲසිබල් වැනි ඇතැම් ටංස්ටන් සංරචක නිෂ්පාදනය කිරීමට ද භාවිතා කළ හැක.