Tungsten hexafluoride WF6
وصف
Tungsten hexafluoride هڪ غير نامياتي مرڪب آهي جيڪو ڪيميائي فارمولا WF6 سان آهي، ڪمري جي حرارت ۽ دٻاء تي بي رنگ گيس، ۽ اڪثر نامياتي محلولن ۾ حل ٿيندڙ.
پيداوار جو مواد
تفصيل | 99.999% | ||
CF4 |
| ڪي | ≤5ppb |
او2 |
| من | ≤10ppb |
N2 | ج1 پي پي ايم | اڳي ئي | ≤5ppb |
CO | ج0.5 پي ايم ايم | ٺ | ≤0.1ppb |
CO2 | ج0.5 پي ايم ايم | جي | ≤10ppb |
SiF4 | ج0.5 پي ايم ايم | اهو | ≤10ppb |
SF6 | ج0.5 پي ايم ايم | IN | ≤0.05ppb |
ايڇ ايف | جپي پي ايم | Zn | ≤10ppb |
ال | ≤10ppb | ۽ | ≤10ppb |
جيئن | ≤10ppb | پي بي | ≤10ppb |
ب | ≤10ppb | پي | ≤2ppb |
اهو | ≤5ppb | ايم جي | ≤10ppb |
سي ڊي | ≤2ppb | ۾ | ≤20ppb |
Cr | ≤10ppb | سان | ≤5ppb |
Fe | ≤10ppb | مو | ≤10ppb |
ٻين ڌاتوءَ جي ڪل نجاست | ≤500 |
پيڪيج ۽ شپنگ
پيداوار | Tungsten hexafluoride WF6 | ||
پيڪيج جي ماپ | 10Ltr سلنڈر | 50Ltr سلنڈر | / |
ڀريل خالص وزن/سائل | 15KGS | 50 ڪلو | |
QTY 20'Container ۾ لوڊ ڪيو ويو | 500 ڪلو | 200Cyls | |
سلنڈر جو وزن | 14 ڪلو | 55 ڪلو | |
والو | CGA638 |
عام ايپليڪيشن
ٽنگسٽن فلورائيڊ (WF6) واحد مستحڪم ۽ صنعتي طور تي پيدا ٿيندڙ ٽنگسٽن فلورائيڊ قسم آهي. اهو خاص طور تي اليڪٽرانڪس انڊسٽري ۾ ٽنگسٽن ميٽيل ڪيميڪل وانپ جمع (CVD) جي عمل لاءِ خام مال طور استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ ان مان ٺهيل WSi2 وڏي پيماني تي انٽيگريٽيڊ سرڪٽس (LSI) ۾ وائرنگ مواد طور استعمال ٿي سگهي ٿو، ۽ پڻ. سيمي ڪنڊڪٽر الیکٹروڊس، فلورائننگ ايجنٽ، پوليمرائيزيشن ڪيٽالسٽس ۽ آپٽيڪل مواد لاءِ خام مال طور استعمال ڪيو ويو. WF6 جون غير اليڪٽرانڪ ايپليڪيشنون: ٽنگسٽن کي اسٽيل جي مٿاڇري جي خاصيتن کي بهتر ڪرڻ لاءِ CVD ٽيڪنالاجي ذريعي اسٽيل جي مٿاڇري تي ٽنگسٽن ڪاربائڊ پيدا ڪرڻ لاءِ سخت بڻائي سگهجي ٿو، ۽ ڪجهه ٽنگسٽن حصن جهڙوڪ ٽنگسٽن پائپ ۽ ڪرسيبلز ٺاهڻ لاءِ پڻ استعمال ڪري سگهجي ٿو.