Продукты

Категории продуктов

Рекомендуемые продукты

Смесь 20 % оксида этилена / 80 % углекислого газа

Смесевые газы Калибровочные газы Стандартные газы

0102030405

Трифторид азота NF3 Электронный газ

Спецификация:

Номер CAS: 7783-54-2

Номер ЭИНЭКС: 232-007-1

Номер ООН: ООН 2451.

Класс ТОЧКИ: 2,2 и 5,1

Чистота: 99,99%-99,999%

Стандартная упаковка: баллоны 40 л/баллоны 47 л/баллоны 440 л.

Молекулярный вес: 71,0019 г/моль.

Плотность: 2,96 кг/м³

Химическое свойство: негорючий газ, окислитель.

Стандартный класс: промышленный класс, электронный класс

Связаться с нами

информация о продукте

Описание продукта

Трифторид азота представляет собой неорганическое соединение, химическая формула NF3, бесцветный газ при нормальной температуре и давлении, нерастворимый в воде, является сильным окислителем, является отличным газом для плазменного травления в микроэлектронной промышленности, а также может использоваться в качестве высокоэнергетического газа. топливо.

Спецификация

Спецификация	99,99%	99,999%
Тетрафторид углерода	≤40 ppmv	≤20 ppmv
Азот	≤10 ppmv	≤50 ppmv
Кислород+Аргон	≤5 ppmv	≤3ppmv
Монооксид углерода	≤1 ppmv	≤1 ppmv
Углекислый газ	≤3ppmv	≤0,5 ppmv
Оксид азота	≤3ppmv	≤1 ppmv
Гексафторид серы	≤3ppmv	≤2ppmv
Влага	≤1 ppmv	≤1 ppmv
Выразить как HF	≤1 ppmv	≤1 ppmv

Типичное применение

① В качестве окислителя: может использоваться в качестве окислителя для лазеров на фтористом водороде.

② В качестве травителя: его можно использовать в качестве травителя при производстве полупроводников, жидких кристаллов и тонкопленочных солнечных элементов.

Упаковка и доставка

Продукт	Трифторид азота NF3
Размер упаковки	40-литровый баллон
Заполнение Вес нетто/цилиндр	20 кг
КОЛ-ВО, загруженное в 20-футовый контейнер	240 цилиндров
Общий вес нетто	4,8 тонны
Собственный вес цилиндра	52 кг
Клапан	CGA330/ДИСС640