Тетрафторид углерода CF4 R14 Электронный газ
Описание продукта
Тетрафторид углерода, также известный как тетрафторметан, имеет химическую формулу CF4. Его можно рассматривать либо как галогенированный углеводород (органическое вещество), либо как неорганическое соединение. Это бесцветный газ при нормальной температуре и давлении, он нерастворим. В воде, растворим в бензоле и хлороформе, в основном используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем. Он также используется в качестве охлаждающей жидкости для лазерного газа, низкотемпературного хладагента, растворителя, смазки, изоляционного материала и трубки инфракрасного детектора.
Спецификация
Спецификация | 99,999% |
Кислород+Аргон | ≤1ppm |
Азот | ≤4 частей на миллион |
Влага (H2O) | ≤3 частей на миллион |
ВЧ | ≤0,1 частей на миллион |
СО | ≤0,1 частей на миллион |
СО2 | ≤1 частей на миллион |
SF6 | ≤1 частей на миллион |
Галокарбины | ≤1 частей на миллион |
Всего примесей | ≤10 частей на миллион |
Типичное применение
Упаковка и доставка
Продукт | Тетрафторид углерода CF4 | ||
Размер посылки | 40-литровый баллон | 50-литровый баллон |
|
Заполнение Вес нетто/цилиндр | 30 кг | 38 кг |
|
КОЛ-ВО, загруженное в 20-футовый контейнер | 250 цилиндров | 250 цилиндров | |
Общий вес нетто | 7,5 тонн | 9,5 тонн | |
Вес тары цилиндра | 50 кг | 55 кг | |
Клапан | КГА 580 |