Gás eletrônico de trifluoreto de nitrogênio NF3
Descrição do produto
O trifluoreto de nitrogênio é um composto inorgânico, fórmula química NF3, gás incolor em temperatura e pressão normais, insolúvel em água, é um forte agente oxidante, é um excelente gás de gravação de plasma na indústria microeletrônica e também pode ser usado como alta energia combustível.
Especificação
Especificação | 99,99% | 99,999% |
Tetrafluoreto de Carbono | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Azoto | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Oxigênio + Argônio | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Monóxido de carbono | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Dióxido de carbono | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Óxido nitroso | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Hexafluoreto de Enxofre | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Umidade | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Expressar como HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Aplicação típica
Pacote e envio
produtos | Trifluoreto de nitrogênio NF3 |
Tamanho da embalagem | Cilindro 40Ltr |
Enchimento Peso Líquido/Cil | 20kg |
QTY carregado em contêiner de 20' | 240 Cilindros |
Peso Líquido Total | 4,8 toneladas |
Tara do Cilindro | 52kg |
Válvula | CGA330/DISS640 |