Gaz elektroniczny, trifluorek azotu NF3
Opis produktu
Trifluorek azotu to związek nieorganiczny, wzór chemiczny NF3, bezbarwny gaz w normalnej temperaturze i ciśnieniu, nierozpuszczalny w wodzie, jest silnym środkiem utleniającym, jest doskonałym gazem do trawienia plazmowego w przemyśle mikroelektroniki i może być również stosowany jako wysokoenergetyczny gaz paliwo.
Specyfikacja
Specyfikacja | 99,99% | 99,999% |
Tetrafluorek węgla | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Azot | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Tlen + Argon | ≤5 ppmv | ≤3 ppmv |
Tlenek węgla | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Dwutlenek węgla | ≤3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Podtlenek azotu | ≤3 ppmv | ≤1 ppmv |
Sześciofluorek siarki | ≤3 ppmv | ≤2ppmv |
Wilgoć | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Wyraź jako HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Typowym zastosowaniem
Paczka i wysyłka
Produkt | Trifluorek azotu NF3 |
Rozmiar opakowania | Cylinder 40 litrów |
Napełnienie Masa netto/Cyl | 20kg |
ILOŚĆ Załadowana w kontenerze 20' | 240 cylindrów |
Całkowita waga netto | 4,8 tony |
Masa tary cylindra | 52kg |
Zawór | CGA330/DISS640 |