ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ |
0102030405
ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ WF6 |
ବର୍ଣ୍ଣନା
ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ହେଉଛି ରାସାୟନିକ ସୂତ୍ର WF6 ସହିତ ଏକ ଅଜ ic ବିକ ଯ ound ଗିକ, କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଚାପରେ ରଙ୍ଗହୀନ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଅଧିକାଂଶ ଜ organic ବ ଦ୍ରବଣରେ ଦ୍ରବୀଭୂତ |
ଉତ୍ପାଦ ବିଷୟବସ୍ତୁ |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ | 99.999% | ||
| CF4 |
| କେ | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | ପୂର୍ବରୁ | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | ଥ | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | ର | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | ତାହା | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| ଅଲ | ≤10ppb | ଏବଂ | ≤10ppb |
| ଯେପରି | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| ବି | ≤10ppb | ପି | ≤2ppb |
| ତାହା | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| ସିଡି | ≤2ppb | ଇନ୍ | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | ସହିତ | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | ମୋ | ≤10ppb |
| ଅନ୍ୟ ଧାତୁର ସମୁଦାୟ ଅପରିଷ୍କାରତା | | ≤500 | ||
ପ୍ୟାକେଜ୍ ଏବଂ ସିପିଂ
| ଉତ୍ପାଦ | ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ WF6 | | ||
| ପ୍ୟାକେଜ୍ ଆକାର | | 10Ltr ସିଲିଣ୍ଡର | | 50Ltr ସିଲିଣ୍ଡର | | / |
| ନିଟ୍ ଓଜନ / ସିଲ୍ ଭରିବା | | 15KGS | 50 କିଲୋଗ୍ରାମ | | |
| QTY 20'Container ରେ ଲୋଡ୍ ହୋଇଛି | | 500 ସିଲ୍ | | 200 ସିଲ୍ | | |
| ସିଲିଣ୍ଡର ଓଜନ | | 14 କିଲୋଗ୍ରାମ | | 55 କିଲୋଗ୍ରାମ | | |
| ଭଲଭ୍ | CGA638 | ||
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ |
ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF6) ହେଉଛି ଏକମାତ୍ର ସ୍ଥିର ଏବଂ ଶିଳ୍ପାନୁଷ୍ଠାନରେ ଉତ୍ପାଦିତ ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ବିବିଧତା | ଏହା ମୁଖ୍ୟତ the ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପରେ ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ଧାତୁ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ କଞ୍ଚାମାଲ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ଏଥିରୁ ନିର୍ମିତ WSi2 ବୃହତ ଆକାରର ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ (LSI) ରେ ତାରଯୁକ୍ତ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ ଏବଂ ଏହା ମଧ୍ୟ ହୋଇପାରେ | ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ, ଫ୍ଲୋରାଇଟିଙ୍ଗ ଏଜେଣ୍ଟ, ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ କାଟାଲାଇଷ୍ଟ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ କଞ୍ଚାମାଲ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | WF6 ର ଅଣ-ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପ୍ରୟୋଗ: ଇସ୍ପାତର ଭୂପୃଷ୍ଠ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ CVD ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ steel ାରା ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନକୁ କଠିନ କରାଯାଇପାରେ, ଏବଂ ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ପାଇପ୍ ଏବଂ କ୍ରୁସିବଲ୍ ପରି କେତେକ ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ଉପାଦାନ ତିଆରି କରିବାରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ |