ଉତ୍ପାଦଗୁଡିକ
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ NF3 ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ |
ଉତ୍ପାଦ ବର୍ଣ୍ଣନା
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ହେଉଛି ଏକ ଅଜ ic ବିକ ଯ ound ଗିକ, ରାସାୟନିକ ସୂତ୍ର NF3, ସାଧାରଣ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଚାପରେ ରଙ୍ଗହୀନ ଗ୍ୟାସ୍, ପାଣିରେ ଦ୍ରବୀଭୂତ ନୁହେଁ, ଏକ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଏଜେଣ୍ଟ, ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପରେ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜମା ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଏହା ଏକ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଭାବରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରେ | ଇନ୍ଧନ।
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ | 99.99% | 99.999% |
କାର୍ବନ୍ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ | | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
ଅମ୍ଳଜାନ + ଆର୍ଗନ୍ | | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
କାର୍ବନ ମନୋକ୍ସାଇଡ୍ | | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
ନାଇଟ୍ରସ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ | | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ | | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
ଆର୍ଦ୍ରତା | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
HF ଭାବରେ ଏକ୍ସପ୍ରେସ କରନ୍ତୁ | | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ |
ପ୍ୟାକେଜ୍ ଏବଂ ସିପିଂ
ଉତ୍ପାଦ | ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ NF3 | |
ପ୍ୟାକେଜିଂ ଆକାର | | 40Ltr ସିଲିଣ୍ଡର | |
ନିଟ୍ ଓଜନ / ସିଲ୍ ଭରିବା | | 20 କିଲୋଗ୍ରାମ | |
QTY 20'Container ରେ ଲୋଡ୍ ହୋଇଛି | | 240 ସିଲ୍ | |
ମୋଟ ନିଟ୍ ଓଜନ | | 4.8 ଟନ୍ | |
ସିଲିଣ୍ଡର ଓଜନ | | 52 କିଲୋଗ୍ରାମ | |
ଭଲଭ୍ | CGA330 / DISS640 |