Elektroniske gasser
Wolfram heksafluorid WF6
Beskrivelse
Wolframheksafluorid er en uorganisk forbindelse med den kjemiske formelen WF6, en fargeløs gass ved romtemperatur og trykk, og løselig i de fleste organiske løsemidler.
Produktinnhold
| Spesifikasjon | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Allerede | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Av | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | At | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | I | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Og | ≤10 ppb |
| Som | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2ppb |
| At | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤2ppb | I | ≤20 ppb |
| Cr | ≤10 ppb | Med | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Totalt urenheter av annet metall | ≤500 | ||
Pakke og frakt
| Produkt | Wolfram heksafluorid WF6 | ||
| Pakkestørrelse | 10 liters sylinder | 50 liters sylinder | / |
| Fylling Nettovekt/Cyl | 15 kg | 50 kg | |
| ANTALL Lastet i 20'container | 500 syl | 200Cyls | |
| Sylinder egenvekt | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Typisk applikasjon
Tungsten fluorid (WF6) er den eneste stabile og industrielt produserte wolframfluorid-varianten. Det brukes hovedsakelig som et råmateriale for prosesser for wolframmetall kjemisk dampavsetning (CVD) i elektronikkindustrien, og WSi2 laget av det kan brukes som ledningsmateriale i storskala integrerte kretser (LSI), og kan også brukes brukes som råmateriale for halvlederelektroder, fluoreringsmidler, polymerisasjonskatalysatorer og optiske materialer. Ikke-elektroniske anvendelser av WF6: Wolfram kan gjøres vanskelig å produsere wolframkarbid på overflaten av stål ved hjelp av CVD-teknologi for å forbedre overflateegenskapene til stål, og kan også brukes til å produsere visse wolframkomponenter, for eksempel wolframrør og digler.