Produkter
Nitrogentrifluorid NF3 elektronisk gass
produktbeskrivelse
Nitrogentrifluorid er en uorganisk forbindelse, kjemisk formel NF3, fargeløs gass ved normal temperatur og trykk, uløselig i vann, er et sterkt oksidasjonsmiddel, er en utmerket plasmaetsingsgass i mikroelektronikkindustrien, og kan også brukes som høyenergi brensel.
Spesifikasjon
Spesifikasjon | 99,99 % | 99,999 % |
Karbontetrafluorid | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Nitrogen | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Oksygen+argon | ≤5 ppmv | ≤3 ppmv |
Karbonmonoksid | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Karbondioksid | ≤3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Nitrogenoksid | ≤3 ppmv | ≤1 ppmv |
Svovelheksafluorid | ≤3 ppmv | ≤2 ppmv |
Fuktighet | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Express som HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Typisk applikasjon
① Som en oksidant: Den kan brukes som en oksidant for hydrogenfluoridlasere.
② Som etsemiddel: Det kan brukes som etsemiddel i produksjon av halvledere, flytende krystaller og tynnfilmsolceller.
Pakke og frakt
Produkt | Nitrogentrifluorid NF3 |
Emballasjestørrelse | 40 liters sylinder |
Fylling Nettovekt/Cyl | 20 kg |
ANTALL Lastet i 20'container | 240 syl |
Total nettovekt | 4,8 tonn |
Sylinder egenvekt | 52 kg |
Ventil | CGA330/DISS640 |