Stikstoftrifluoride NF3 Elektronisch gas
Productomschrijving
Stikstoftrifluoride is een anorganische verbinding, chemische formule NF3, kleurloos gas bij normale temperatuur en druk, onoplosbaar in water, is een sterk oxidatiemiddel, is een uitstekend plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie en kan ook worden gebruikt als hoogenergetisch middel. brandstof.
Specificatie
Specificatie | 99,99% | 99,999% |
Koolstoftetrafluoride | ≤40ppmv | ≤20 ppmv |
Stikstof | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Zuurstof+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Koolmonoxide | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Kooldioxide | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Lachgas | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Zwavelhexafluoride | ≤3ppmv | ≤2 ppmv |
Vocht | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Uitdrukken als HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Typische applicatie
Pakket en verzending
Product | Stikstoftrifluoride NF3 |
Verpakkingsgrootte | 40 liter cilinder |
Vulling Nettogewicht/Cyl | 20 kg |
AANTAL Geladen in 20'Container | 240 cilinders |
Totaal nettogewicht | 4,8 ton |
Cilinder tarragewicht | 52 kg |
Ventiel | CGA330/DISS640 |