Gas Elektronik Nitrogen Trifluorida NF3
Penerangan Produk
Nitrogen Trifluoride ialah sebatian bukan organik, formula kimia NF3, gas tidak berwarna pada suhu dan tekanan normal, tidak larut dalam air, merupakan agen pengoksidaan yang kuat, merupakan gas etsa plasma yang sangat baik dalam industri mikroelektronik, dan juga boleh digunakan sebagai tenaga tinggi. bahan api.
Spesifikasi
Spesifikasi | 99.99% | 99.999% |
Karbon Tetrafluorida | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Nitrogen | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Oksigen+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Karbon monoksida | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Karbon dioksida | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
Nitrous Oksida | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Sulfur Heksafluorida | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Kelembapan | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Nyatakan sebagai HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Aplikasi Biasa
Pakej & Penghantaran
produk | Nitrogen Trifluorida NF3 |
Saiz Pembungkusan | Silinder 40Ltr |
Mengisi Berat Bersih/Cyl | 20kgs |
QTY Dimuatkan dalam 20'Container | 240 Cyl |
Jumlah Berat Bersih | 4.8 Tan |
Berat Tara Silinder | 52kgs |
Injap | CGA330/DISS640 |