इलेक्ट्रॉनिक वायू
0102030405
टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड WF6
वर्णन
टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड हे रासायनिक सूत्र WF6 असलेले एक अजैविक संयुग आहे, खोलीच्या तापमानात आणि दाबावर रंगहीन वायू आहे आणि बहुतेक सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्समध्ये विरघळतो.
उत्पादन सामग्री
| तपशील | 99.999% | ||
| CF4 |
| के | ≤5ppb |
| O2 |
| मं | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | आधीच | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | गु | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | च्या | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | ते | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| एचएफ | ＜पीपीएम | Zn | ≤10ppb |
| अल | ≤10ppb | आणि | ≤10ppb |
| म्हणून | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| बी | ≤10ppb | पी | ≤2ppb |
| ते | ≤5ppb | मिग्रॅ | ≤10ppb |
| सीडी | ≤2ppb | मध्ये | ≤20ppb |
| क्र | ≤10ppb | सह | ≤5ppb |
| फे | ≤10ppb | मो | ≤10ppb |
| इतर धातूंची एकूण अशुद्धता | ≤५०० | ||
पॅकेज आणि शिपिंग
| उत्पादन | टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड WF6 | ||
| पॅकेज आकार | 10 लिटर सिलेंडर | 50 लिटर सिलेंडर | / |
| निव्वळ वजन/सायल भरणे | 15KGS | 50 किलो | |
| 20'कंटेनरमध्ये QTY लोड केले | 500Cyls | 200Cyls | |
| सिलेंडरचे वजन | 14 किलो | ५५ किलो | |
| झडपा | CGA638 | ||
ठराविक अर्ज
टंगस्टन फ्लोराईड (WF6) ही एकमेव स्थिर आणि औद्योगिकरित्या उत्पादित टंगस्टन फ्लोराइड प्रकार आहे. हे प्रामुख्याने इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात टंगस्टन मेटल केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेसाठी कच्चा माल म्हणून वापरले जाते आणि त्यापासून बनवलेले WSi2 मोठ्या प्रमाणात इंटिग्रेटेड सर्किट्स (LSI) मध्ये वायरिंग मटेरियल म्हणून वापरले जाऊ शकते. सेमीकंडक्टर इलेक्ट्रोड्स, फ्लोरिनेटिंग एजंट्स, पॉलिमरायझेशन उत्प्रेरक आणि ऑप्टिकल सामग्रीसाठी कच्चा माल म्हणून वापरला जातो. WF6 चे नॉन-इलेक्ट्रॉनिक ऍप्लिकेशन्स: CVD तंत्रज्ञानाद्वारे स्टीलच्या पृष्ठभागावर टंगस्टन कार्बाइड तयार करण्यासाठी टंगस्टनला कठोर केले जाऊ शकते आणि स्टीलचे पृष्ठभाग गुणधर्म सुधारण्यासाठी आणि टंगस्टन पाईप्स आणि क्रूसिबल्स सारख्या विशिष्ट टंगस्टन घटकांच्या निर्मितीसाठी देखील वापरला जाऊ शकतो.