Электрон хий
0102030405
Вольфрамын гексафторид WF6
Тодорхойлолт
Гянт болд гексафторид нь WF6 химийн томьёотой органик бус нэгдэл бөгөөд өрөөний температур, даралтад өнгөгүй хий бөгөөд ихэнх органик уусгагчид уусдаг.
Бүтээгдэхүүний агуулга
| Тодорхойлолт | 99.999% | ||
| CF4 |
| К | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Аль хэдийн | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | -ийн | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | Тэр | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Ал | ≤10ppb | Тэгээд | ≤10ppb |
| гэх мэт | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| Тэр | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | онд | ≤20ppb |
| Кр | ≤10ppb | -тай | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Мо | ≤10ppb |
| Бусад металлын нийт хольц | ≤500 | ||
Багц, хүргэлт
| Бүтээгдэхүүн | Вольфрамын гексафторид WF6 | ||
| Багцын хэмжээ | 10 литр цилиндр | 50 литр цилиндр | / |
| Цэвэр жин/цил дүүргэх | 15KGS | 50 кг | |
| Тоо хэмжээ нь 20' чингэлэгт ачаалагдсан | 500 цилиндр | 200 цилиндр | |
| Цилиндрийн таар жин | 14 кг | 55 кг | |
| Хавхлага | CGA638 | ||
Ердийн хэрэглээ
Вольфрамын хайлуур жонш (WF6) нь тогтвортой, үйлдвэрлэлийн аргаар үйлдвэрлэсэн вольфрамын фторын цорын ганц төрөл юм. Энэ нь голчлон электроникийн үйлдвэрт вольфрамын металлын химийн уурын (CVD) боловсруулалтын түүхий эд болгон ашигладаг бөгөөд түүгээр хийсэн WSi2 нь том хэмжээний нэгдсэн хэлхээнд (LSI) утас материал болгон ашиглаж болно. хагас дамжуулагч электрод, фторжуулагч бодис, полимержих катализатор, оптик материалын түүхий эд болгон ашигладаг. WF6-ийн электрон бус хэрэглээ: Вольфрамыг гангийн гадаргуугийн шинж чанарыг сайжруулахын тулд CVD технологиор гангийн гадаргуу дээр вольфрамын карбид үйлдвэрлэхэд хатууруулж, вольфрамын хоолой, тигель зэрэг зарим вольфрамын эд ангиудыг үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно.