ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് WF6

ടങ്സ്റ്റൺ ഫ്ലൂറൈഡ് (WF6) സ്ഥിരതയുള്ളതും വ്യാവസായികമായി ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതുമായ ടങ്സ്റ്റൺ ഫ്ലൂറൈഡ് ഇനമാണ്. ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിലെ ടങ്സ്റ്റൺ മെറ്റൽ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി) പ്രക്രിയയ്ക്കുള്ള അസംസ്കൃത വസ്തുവായി ഇത് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ അതിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച WSi2 വലിയ തോതിലുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിൽ (LSI) വയറിംഗ് മെറ്റീരിയലായി ഉപയോഗിക്കാം. അർദ്ധചാലക ഇലക്ട്രോഡുകൾ, ഫ്ലൂറിനേറ്റിംഗ് ഏജൻ്റുകൾ, പോളിമറൈസേഷൻ കാറ്റലിസ്റ്റുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ മെറ്റീരിയലുകൾ എന്നിവയുടെ അസംസ്കൃത വസ്തുവായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. WF6-ൻ്റെ ഇലക്‌ട്രോണിക് ഇതര പ്രയോഗങ്ങൾ: ഉരുക്കിൻ്റെ ഉപരിതല ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി CVD സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച് സ്റ്റീലിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ടങ്സ്റ്റൺ കാർബൈഡ് ഉത്പാദിപ്പിക്കാൻ ടങ്സ്റ്റൺ കഠിനമാക്കാം, കൂടാതെ ടങ്സ്റ്റൺ പൈപ്പുകളും ക്രൂസിബിളുകളും പോലുള്ള ചില ടങ്സ്റ്റൺ ഘടകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാനും ഇത് ഉപയോഗിക്കാം.