Електронски гасови
0102030405
Волфрам хексафлуорид WF6
Опис
Волфрам хексафлуорид е неорганско соединение со хемиска формула WF6, безбоен гас на собна температура и притисок и растворлив во повеќето органски растворувачи.
Содржина на производот
| Спецификација | 99,999% | ||
| CF4 |
| К | ≤5ppb |
| О2 |
| Мн | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Веќе | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Т | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | На | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Тоа | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | ВО | ≤0,05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Ал | ≤10ppb | И | ≤10ppb |
| Како | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| Тоа | ≤5ppb | Мг | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | Во | ≤20ppb |
| Кр | ≤10ppb | Со | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Мо | ≤10ppb |
| Вкупни нечистотии на друг метал | ≤500 | ||
Пакет и испорака
| Производ | Волфрам хексафлуорид WF6 | ||
| Големина на пакетот | Цилиндар од 10 литри | Цилиндар од 50 литри | / |
| Нето тежина на полнење/цил | 15 килограми | 50 кг | |
| Количина натоварено во контејнер 20' | 500 цили | 200 цикли | |
| Тежина на цилиндар | 14 кг | 55 кг | |
| Вентил | CGA638 | ||
Типична апликација
Волфрам флуорид (WF6) е единствената стабилна и индустриски произведена сорта на волфрам флуорид. Главно се користи како суровина за процесот на хемиско таложење на пареа на волфрам (CVD) во електронската индустрија, а WSi2 направен од него може да се користи како материјал за поврзување во големи интегрирани кола (LSI), а исто така може да биде се користи како суровина за полупроводнички електроди, флуорирачки агенси, катализатори за полимеризација и оптички материјали. Не-електронски апликации на WF6: Волфрамот може да се направи тешко за да се произведе волфрам карбид на површината на челик со помош на CVD технологијата за подобрување на површинските својства на челикот, а исто така може да се користи за производство на одредени волфрамски компоненти, како што се волфрамските цевки и садници.