Entona elektronika
0102030405
Tungstène hexafluoride WF6
Description
Tungstène hexafluoride dia singa tsy organika miaraka amin'ny formula simika WF6, entona tsy misy loko amin'ny mari-pana sy ny fanerena, ary mety levona amin'ny ankamaroan'ny solvent organika.
Votoatin'ny vokatra
| famaritana | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | EFA | ≤5ppb |
| mpiara | ＜0,5ppm | faha | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0,5ppm | nY | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5ppm | IZAY | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | SY | ≤10ppb |
| Araka ny | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| amin ' | ≤10ppb | t | ≤2ppb |
| IZAY | ≤5ppb | levitra | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | In | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | amin'ny | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Fahalotoana tanteraka amin'ny metaly hafa | ≤500 | ||
Fonosana & fandefasana
| vokatra | Tungstène hexafluoride WF6 | ||
| Haben'ny fonosana | Cylinder 10L | Cylinder 50L | / |
| Famenoana lanja Net/Cyl | 15KGS | 50 kg | |
| QTY voapetraka ao anaty 20'Container | 500Cyls | 200Cyls | |
| Ny lanjan'ny tare cylinder | 14 kg | 55 kg | |
| miditra tsimoramora | CGA638 | ||
Fampiharana mahazatra
Tungstène fluoride (WF6) no hany stable sy indostrialy vokarina tungstène fluoride isan-karazany. Izany no tena ampiasaina ho toy ny akora ho an'ny tungstène metaly simika etona deposition (CVD) dingana ao amin'ny orinasa elektronika, ary ny WSi2 vita avy aminy dia azo ampiasaina ho toy ny wiring fitaovana amin'ny lehibe-scale Integrated faritra (LSI), ary azo atao ihany koa. ampiasaina ho akora ho an'ny electrodes semiconductor, fluorinating mpiasa, polymerization catalysts sy Optical fitaovana. Fampiharana tsy elektronika amin'ny WF6: Tungstène dia azo atao mafy amin'ny famokarana tungstène carbide amin'ny vy amin'ny alàlan'ny teknolojia CVD mba hanatsarana ny toetran'ny vy, ary azo ampiasaina amin'ny fanamboarana singa tungstène sasany, toy ny fantsona tungstène sy ny crucibles.