Elektroniskās gāzes
0102030405
Volframa heksafluorīds WF6
Apraksts
Volframa heksafluorīds ir neorganisks savienojums ar ķīmisko formulu WF6, bezkrāsaina gāze istabas temperatūrā un spiedienā un šķīst lielākajā daļā organisko šķīdinātāju.
Produkta saturs
| Specifikācija | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1ppm | Jau tagad | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | No | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Tas | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Un | ≤10 ppb |
| Kā | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2 ppb |
| Tas | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| CD | ≤2 ppb | In | ≤20 ppb |
| Kr | ≤10 ppb | Ar | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Kopējie citu metālu piemaisījumi | ≤500 | ||
Iepakojums un piegāde
| Produkts | Volframa heksafluorīds WF6 | ||
| Iepakojuma izmērs | 10 l cilindrs | 50 l cilindrs | / |
| Pildījuma neto svars/cil | 15 KGS | 50 kg | |
| QTY Ielādēts 20' konteinerā | 500 cilindri | 200 cilindri | |
| Cilindra taras svars | 14 kg | 55 kg | |
| Vārsts | CGA638 | ||
Tipisks pielietojums
Volframa fluorīds (WF6) ir vienīgā stabilā un rūpnieciski ražotā volframa fluorīda šķirne. To galvenokārt izmanto kā izejvielu volframa metālu ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) procesam elektronikas rūpniecībā, un no tā izgatavoto WSi2 var izmantot kā elektroinstalācijas materiālu liela mēroga integrālajās shēmās (LSI), un to var arī izmantot. izmanto kā izejvielu pusvadītāju elektrodiem, fluorēšanas līdzekļiem, polimerizācijas katalizatoriem un optiskiem materiāliem. WF6 neelektroniski pielietojumi: volframu var padarīt grūti ražot volframa karbīdu uz tērauda virsmas, izmantojot CVD tehnoloģiju, lai uzlabotu tērauda virsmas īpašības, un to var izmantot arī noteiktu volframa sastāvdaļu, piemēram, volframa cauruļu un tīģeļu, ražošanai.