Elektroninės dujos
0102030405
Volframo heksafluoridas WF6
Aprašymas
Volframo heksafluoridas yra neorganinis junginys, kurio cheminė formulė WF6, bespalvės dujos kambario temperatūroje ir slėgyje, tirpios daugumoje organinių tirpiklių.
Produkto turinys
| Specifikacija | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | jau | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Iš | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Tai | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Ir | ≤10 ppb |
| Kaip | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤ 2 ppb |
| Tai | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤ 2 ppb | Į | ≤20 ppb |
| Kr | ≤10 ppb | Su | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Iš viso kitų metalų priemaišų | ≤500 | ||
Pakuotė ir siuntimas
| Produktas | Volframo heksafluoridas WF6 | ||
| Pakuotės dydis | 10ltr cilindras | 50ltr cilindras | / |
| Užpildymas Grynasis svoris/cil | 15 kg | 50 kg | |
| Kiekis įkeltas į 20' konteinerį | 500 cilų | 200 cilų | |
| Cilindro taros svoris | 14 kg | 55 kg | |
| Vožtuvas | CGA638 | ||
Tipiškas taikymas
Volframo fluoridas (WF6) yra vienintelė stabili ir pramoniniu būdu pagaminta volframo fluorido rūšis. Jis daugiausia naudojamas kaip žaliava volframo metalo cheminio nusodinimo garais (CVD) procesui elektronikos pramonėje, o iš jo pagamintas WSi2 gali būti naudojamas kaip laidų medžiaga didelės apimties integriniuose grandynuose (LSI), taip pat gali būti naudojamas kaip puslaidininkinių elektrodų, fluorinančių medžiagų, polimerizacijos katalizatorių ir optinių medžiagų žaliava. Neelektroninis WF6 pritaikymas: volframas gali būti sunkiai gaminamas volframo karbidas ant plieno paviršiaus naudojant CVD technologiją, siekiant pagerinti plieno paviršiaus savybes, taip pat gali būti naudojamas gaminant tam tikrus volframo komponentus, tokius kaip volframo vamzdžiai ir tigliai.