Kodėl „Semiconductor Giant“ plečia didelio grynumo fluoro (F2 mišinio) naudojimą?

Remiantis neseniai paskelbta SK Hynix 2024 m. tvarumo ataskaita, Hynix pakeisazoto trifluorido dujosnaudojamas puslaidininkių valymo procesuose su aplinkai draugiškesnėmis žemo visuotinio atšilimo potencialo (GWP) dujomis. Pranešama, kad šie procesai naudojadidelio grynumo fluoro dujų mišinys (F2 Mix).

Puslaidininkių gamybos ėsdinimo procese konstrukcijos išgraviruojamos į puslaidininkį. Šis žingsnis vyksta vadinamajame ėsdintuve. Išgraviruota medžiaga taip pat nusėda ant ėsdinimo įrankio sienelių, todėl įrankiui valyti reikalingas atskiras procesas. Daugeliu atvejų jis valomasNF3, tačiau rinkoje yra ėsdinimo priemonių, kurios naudoja adidelio grynumo F2/N2 dujų mišinys.

Šie dujų mišiniai aplinkai nekenksmingu būdu pašalina SiO2 ir Si3N4 junginius ir gali juos pakeistiNF3kaip valymo dujos. Be to, F2/N2 mišinio GWP (Global Warming Potential) lygus nuliui, palyginti su NF3 17900. F2/N2 dujų mišinys taip pat gali pakeistikitos valymo dujos, tokios kaip CF4 arba C2F6.

SOLVAY sukūrė ir užpatentavo įvairius fluoro dujų mišinius. Kaip aplinkai nekenksmingos dujos CVD valymo procesams, Solvaclean® sunaudoja daug mažiau dujų per ciklą, todėl yra efektyvesnis, nepaisant to, kad valymo greitis panašus, palyginti su alternatyvomis. Jei F2 patenka į aplinką, jis iš karto suyra į HF. HF sugeria drėgmę ir vėliau nuplauna lietaus. Atmosferoje nieko nelieka. Solvaclean® produktai turi nulinį GWP (Global Warming Potential).

Pranešama, kad lustų gamintojai, tokie kaip „Hynix“ ir „Samsung“, siekia išplėsti didelio grynumo fluoro mišrių dujų (F2 Mix) taikymą.

Kitos vis dažniau naudojamos dujos yravandenilio fluoridas (HF), kuris naudojamas kriogeninėje ėsdinimo įrangoje. HF GWP yra 1 arba mažesnis, daug mažesnis nei fluoro angliavandenilių dujos, anksčiau naudotos NAND kanalo skylėms ėsdinti.Fluorangliavandenilių šeimos dujos anglies tetrafluoridas (CF4)ir oktafluorciklobutano (C4F8) GWP yra atitinkamai 6030 ir 9540.

Tikimasi, kad minėtas dujų naudojimo pokytis taip pat turės įtakos susijusių įmonių veiklos rezultatamselektronikos specializuotos dujų įmonės.