Anglies tetrafluorido CF4 R14 elektroninės dujos
Prekės aprašymas
Anglies tetrafluoridas, taip pat žinomas kaip tetrafluormetanas, turi cheminę formulę CF4. Jis gali būti laikomas halogenintu angliavandeniliu (organine medžiaga) arba neorganiniu junginiu. Tai yra bespalvės dujos esant normaliai temperatūrai ir slėgiui ir netirpios. Vandenyje, tirpstančiame benzene ir chloroforme, jis daugiausia naudojamas įvairių integrinių grandynų plazminio ėsdinimo procese. Jis taip pat naudojamas kaip lazerio dujų aušinimo skystis, žemos temperatūros šaltnešis, tirpiklis, tepalas, izoliacinė medžiaga ir infraraudonųjų spindulių detektoriaus vamzdis.
Specifikacija
Specifikacija | 99,999 % |
Deguonis + argonas | ≤1 ppm |
Azotas | ≤4 ppm |
Drėgmė (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halokarbinai | ≤1 ppm |
Iš viso priemaišų | ≤10 ppm |
Tipiškas taikymas
Pakuotė ir siuntimas
Produktas | Anglies tetrafluoridas CF4 | ||
Pakuotės dydis | 40ltr cilindras | 50ltr cilindras |
|
Užpildymas Grynasis svoris/cil | 30 kg | 38 kg |
|
Kiekis įkeltas į 20' konteinerį | 250 cilindrų | 250 cilindrų | |
Bendras grynasis svoris | 7,5 tonos | 9,5 tonos | |
Cilindro taros svoris | 50 kg | 55 kg | |
Vožtuvas | CGA 580 |