ອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກ
Tungsten hexafluoride WF6
ລາຍລະອຽດ
Tungsten hexafluoride ແມ່ນສານປະກອບອະນົງຄະທາດທີ່ມີສູດເຄມີ WF6, ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງແລະຄວາມດັນ, ແລະລະລາຍໃນສານລະລາຍອິນຊີສ່ວນໃຫຍ່.
ເນື້ອໃນຜະລິດຕະພັນ
| ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ | 99.999% | ||
| CF4 |
| ຄ | ≤5ppb |
| O2 |
| ມ | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | ແລ້ວ | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | ທ | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | ຂອງ | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | ນັ້ນ | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| ອັນ | ≤10ppb | ແລະ | ≤10ppb |
| ເປັນ | ≤10ppb | ປ | ≤10ppb |
| ຂ | ≤10ppb | ປ | ≤2ppb |
| ນັ້ນ | ≤5ppb | ມກ | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | ໃນ | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | ກັບ | ≤5ppb |
| ເຟ | ≤10ppb | ມ | ≤10ppb |
| impurities ທັງຫມົດຂອງໂລຫະອື່ນໆ | ≤500 | ||
ການຫຸ້ມຫໍ່ & ການຂົນສົ່ງ
| ຜະລິດຕະພັນ | Tungsten hexafluoride WF6 | ||
| ຂະໜາດບັນຈຸ | ກະບອກສູບ 10 ລິດ | 50 ລິດກະບອກ | / |
| ການຕື່ມນ້ໍາຫນັກສຸດທິ / Cyl | 15KGS | 50 ກິໂລກຣາມ | |
| QTY Loaded ໃນ 20'Container | 500Cyls | 200Cyls | |
| ນ້ຳໜັກກະບອກສູບ | 14 ກິໂລກຣາມ | 55 ກິໂລກຣາມ | |
| ວາວ | CGA638 | ||
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ
Tungsten fluoride (WF6) ແມ່ນແນວພັນ tungsten fluoride ທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຜະລິດໂດຍອຸດສາຫະກໍາເທົ່ານັ້ນ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍເປັນວັດຖຸດິບສໍາລັບຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດໂລຫະ tungsten (CVD) ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ WSi2 ທີ່ຜະລິດຈາກມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອຸປະກອນສາຍໄຟໃນວົງຈອນປະສົມປະສານຂະຫນາດໃຫຍ່ (LSI), ແລະຍັງສາມາດເປັນ. ໃຊ້ເປັນວັດຖຸດິບສໍາລັບ electrodes semiconductor, ຕົວແທນ fluorinating, catalysts polymerization ແລະອຸປະກອນ optical. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ບໍ່ແມ່ນເອເລັກໂຕຣນິກຂອງ WF6: Tungsten ສາມາດເຮັດໃຫ້ຍາກໃນການຜະລິດ tungsten carbide ເທິງຫນ້າດິນຂອງເຫລໍກໂດຍເຕັກໂນໂລຊີ CVD ເພື່ອປັບປຸງຄຸນສົມບັດຂອງຫນ້າດິນຂອງເຫຼັກກ້າ, ແລະຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຜະລິດອົງປະກອບ tungsten ບາງເຊັ່ນ: ທໍ່ tungsten ແລະ crucibles.